High intensity plasma immersion metal ion beam source for surface modification of materials

Bibliographic Details
Parent link:	Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016): International Congress, October 2–7, 2016, Tomsk, Russia/ National Research Tomsk Polytechnic University (TPU) ; eds. B. M. Kovalchuk [et al.]. [P. 178].— , 2016
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Лаборатория № 22
Other Authors:	Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich, Ananin P. S. Petr Semenovich, Dektyarev S. V. Sergey Valentinovich, Shevelev A. E. Aleksey Eduardovich, Sivin D. O. Denis Olegovich
Summary:	Title screen
Published:	2016
Subjects:	труды учёных ТПУ электронный ресурс Vacuum arc Plasma Ion beams Repetitively pulsed bias вакуумные дуги плазма ионные пучки поверхности материалы
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/37223
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=622380

Internet