Моделирование процесса ионной имплантации в поверхность мишени с покрытием; Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2016)

Bibliografski detalji
Parent link:Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2016).— 2016.— [С. 531-532]
Glavni autor: Парфёнова Е. С. Елена Сергеевна
Autori kompanije: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Учебно-научная межотраслевая междисциплинарная лаборатория "Моделирование физико-химических процессов в современных технологиях" (УНММЛ "МФХПСТ"), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Кафедра физики высоких технологий в машиностроении (ФВТМ)
Daljnji autori: Князева А. Г. Анна Георгиевна (научный руководитель)
Sažetak:Заглавие с титульного экрана
Jezik:ruski
Izdano: 2016
Serija:Моделирование физико-химических процессов в современных технологиях
Teme:
Online pristup:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/36438
Format: Elektronički Poglavlje knjige
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=621886

Slični predmeti