Моделирование процесса ионной имплантации в поверхность мишени с покрытием; Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2016)

Моделирование процесса ионной имплантации в поверхность мишени с покрытием; Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2016)

Bibliographic Details
Parent link:	Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2016).— 2016.— [С. 531-532]
Main Author:	Парфёнова Е. С. Елена Сергеевна
Corporate Authors:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Учебно-научная межотраслевая междисциплинарная лаборатория "Моделирование физико-химических процессов в современных технологиях" (УНММЛ "МФХПСТ"), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Кафедра физики высоких технологий в машиностроении (ФВТМ)
Other Authors:	Князева А. Г. Анна Георгиевна (научный руководитель)
Summary:	Заглавие с титульного экрана
Language:	Russian
Published:	2016
Series:	Моделирование физико-химических процессов в современных технологиях
Subjects:	труды учёных ТПУ электронные ресурсы заряженные частицы ионная имплантация концентрационные волны примеси металлы
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/36438
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=621886

Internet

http://earchive.tpu.ru/handle/11683/36438