Моделирование процесса ионной имплантации в поверхность мишени с покрытием; Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2016)

Моделирование процесса ионной имплантации в поверхность мишени с покрытием; Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2016)

書誌詳細
Parent link:	Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2016).— 2016.— [С. 531-532]
第一著者:	Парфёнова Е. С. Елена Сергеевна
共著者:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Учебно-научная межотраслевая междисциплинарная лаборатория "Моделирование физико-химических процессов в современных технологиях" (УНММЛ "МФХПСТ"), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Кафедра физики высоких технологий в машиностроении (ФВТМ)
その他の著者:	Князева А. Г. Анна Георгиевна (научный руководитель)
要約:	Заглавие с титульного экрана
言語:	ロシア語
出版事項:	2016
シリーズ:	Моделирование физико-химических процессов в современных технологиях
主題:	труды учёных ТПУ электронные ресурсы заряженные частицы ионная имплантация концентрационные волны примеси металлы
オンライン･アクセス:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/36438
フォーマット:	電子媒体図書の章
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=621886

インターネット

http://earchive.tpu.ru/handle/11683/36438