Моделирование процесса ионной имплантации в поверхность мишени с покрытием; Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2016)

Bibliografiske detaljer
Parent link:Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2016).— 2016.— [С. 531-532]
Hovedforfatter: Парфёнова Е. С. Елена Сергеевна
Corporate Authors: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Учебно-научная межотраслевая междисциплинарная лаборатория "Моделирование физико-химических процессов в современных технологиях" (УНММЛ "МФХПСТ"), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Кафедра физики высоких технологий в машиностроении (ФВТМ)
Andre forfattere: Князева А. Г. Анна Георгиевна (научный руководитель)
Summary:Заглавие с титульного экрана
Sprog:russisk
Udgivet: 2016
Serier:Моделирование физико-химических процессов в современных технологиях
Fag:
Online adgang:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/36438
Format: Electronisk Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=621886