|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
621886 |
| 005 |
20231101133202.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\conf\20507
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\conf\20506
|
| 090 |
|
|
|a 621886
|
| 100 |
|
|
|a 20170124d2016 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a y z 101zy
|
| 135 |
|
|
|a drcn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Моделирование процесса ионной имплантации в поверхность мишени с покрытием
|f Е. С. Парфёнова
|g науч. рук. А. Г. Князева
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 225 |
1 |
|
|a Моделирование физико-химических процессов в современных технологиях
|
| 230 |
|
|
|a 1 компьютерный файл (pdf; 242 Kb)
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с титульного экрана
|
| 320 |
|
|
|a [Библиогр.: с. 532 (2 назв.)]
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\conf\20333
|t Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2016)
|o сборник научных трудов V Международной научно-технической конференции молодых ученых, аспирантов и студентов, г. Томск, 5–7 декабря 2016 г.
|f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. А. Н. Яковлева
|v [С. 531-532]
|d 2016
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a электронные ресурсы
|
| 610 |
1 |
|
|a заряженные частицы
|
| 610 |
1 |
|
|a ионная имплантация
|
| 610 |
1 |
|
|a концентрационные волны
|
| 610 |
1 |
|
|a примеси
|
| 610 |
1 |
|
|a металлы
|
| 700 |
|
1 |
|a Парфёнова
|b Е. С.
|c инженер Томского политехнического университета
|c химик-технолог
|f 1989-
|g Елена Сергеевна
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\32757
|
| 702 |
|
1 |
|a Князева
|b А. Г.
|c российский физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1962-
|g Анна Георгиевна
|2 stltpush
|4 727
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|b Институт физики высоких технологий (ИФВТ)
|b Учебно-научная межотраслевая междисциплинарная лаборатория "Моделирование физико-химических процессов в современных технологиях" (УНММЛ "МФХПСТ")
|h 6383
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\19311
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|b Институт физики высоких технологий (ИФВТ)
|b Кафедра физики высоких технологий в машиностроении (ФВТМ)
|h 2087
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\18687
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20170207
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/36438
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
