Characterzations of nitrogen-doped titanium dioxide films prepared by reactive magnetron sputtering deposition

Bibliographic Details
Parent link:	Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016): International Congress, October 2–7, 2016, Tomsk, Russia/ National Research Tomsk Polytechnic University (TPU) ; eds. B. M. Kovalchuk [et al.]. [P. 321].— , 2016
Main Author:	Pichugin V. F. Vladimir Fyodorovich
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ)
Other Authors:	Pustovalova A. A. Alla Aleksandrovna
Summary:	Title screen
Published:	2016
Subjects:	труды учёных ТПУ электронный ресурс легирование азот пленки диоксид титана осаждение реактивное распыление магнетронное распыление магнетроны magnetron sputtering TiON films
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/35857
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=621400

Internet