Influence of repetitively-pulsed plasma immersion low energy on implantation to tin coating properties formation

Bibliographic Details
Parent link:	Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016): International Congress, October 2–7, 2016, Tomsk, Russia/ National Research Tomsk Polytechnic University (TPU) ; eds. B. M. Kovalchuk [et al.]. [P. 314].— , 2016
Corporate Authors:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Лаборатория № 22, Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Центр измерений свойств материалов (ЦИСМ)
Other Authors:	Sivin D. O. Denis Olegovich, Ananin P. S. Petr Semenovich, Dektyarev S. V. Sergey Valentinovich, Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich, Shevelev A. E. Aleksey Eduardovich, Korneva O. S. Olga Sergeevna
Summary:	Title screen
Published:	2016
Subjects:	труды учёных ТПУ электронный ресурс энергия имплантация покрытия олово нитрид титана вакуумные дуги смещения titanium nitride coating vacuum arc negative high-frequency short-pulsed bias
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/35854
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=621397

Internet