Influence of repetitively-pulsed plasma immersion low energy on implantation to tin coating properties formation; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)

Bibliographische Detailangaben
Parent link:	Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016).— 2016.— [P. 314]
Körperschaften:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Лаборатория № 22, Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Центр измерений свойств материалов (ЦИСМ)
Weitere Verfasser:	Sivin D. O. Denis Olegovich, Ananin P. S. Petr Semenovich, Dektyarev S. V. Sergey Valentinovich, Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich, Shevelev A. E. Aleksey Eduardovich, Korneva O. S. Olga Sergeevna
Zusammenfassung:	Title screen
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2016
Schlagworte:	труды учёных ТПУ электронный ресурс энергия имплантация покрытия олово нитрид титана вакуумные дуги смещения titanium nitride coating vacuum arc negative high-frequency short-pulsed bias
Online-Zugang:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/35854
Format:	Elektronisch Buchkapitel
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=621397

Online