The energy flux onto substrate during coating deposition using magnetron with liquid metal target; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)

מידע ביבליוגרפי
Parent link:	Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016).— 2016.— [P. 234]
מחבר ראשי:	Bleykher (Bleicher) G. A. Galina Alekseevna
מחבר תאגידי:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ)
מחברים אחרים:	Borduleva A. O. Alena Olegovna, Yuryeva A. V. Alena Victorovna
סיכום:	Title screen
שפה:	אנגלית
יצא לאור:	2016
נושאים:	труды учёных ТПУ электронный ресурс энергия подложки покрытия магнетроны мишени жидкие металлы магнетронное распыление поток энергии жидкие фазы magnetron sputtering evaporation energy flux onto substrate liguid-phase target
גישה מקוונת:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/35833
פורמט:	אלקטרוני Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=621310

תיאור
סיכום:	Title screen

פריטים דומים