The energy flux onto substrate during coating deposition using magnetron with liquid metal target; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)

Bibliografiset tiedot
Parent link:	Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016).— 2016.— [P. 234]
Päätekijä:	Bleykher (Bleicher) G. A. Galina Alekseevna
Yhteisötekijä:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ)
Muut tekijät:	Borduleva A. O. Alena Olegovna, Yuryeva A. V. Alena Victorovna
Yhteenveto:	Title screen
Kieli:	englanti
Julkaistu:	2016
Aiheet:	труды учёных ТПУ электронный ресурс энергия подложки покрытия магнетроны мишени жидкие металлы магнетронное распыление поток энергии жидкие фазы magnetron sputtering evaporation energy flux onto substrate liguid-phase target
Linkit:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/35833
Aineistotyyppi:	Elektroninen Kirjan osa
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=621310

Internet