The energy flux onto substrate during coating deposition using magnetron with liquid metal target

Bibliographic Details
Parent link:	Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016): International Congress, October 2–7, 2016, Tomsk, Russia/ National Research Tomsk Polytechnic University (TPU) ; eds. B. M. Kovalchuk [et al.]. [P. 234].— , 2016
Main Author:	Bleykher (Bleicher) G. A. Galina Alekseevna
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ)
Other Authors:	Borduleva A. O. Alena Olegovna, Yuryeva A. V. Alena Victorovna
Summary:	Title screen
Published:	2016
Subjects:	труды учёных ТПУ электронный ресурс энергия подложки покрытия магнетроны мишени жидкие металлы магнетронное распыление поток энергии жидкие фазы magnetron sputtering evaporation energy flux onto substrate liguid-phase target
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/35833
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=621310

Internet