The energy flux onto substrate during coating deposition using magnetron with liquid metal target

Détails bibliographiques
Parent link:Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016): International Congress, October 2–7, 2016, Tomsk, Russia/ National Research Tomsk Polytechnic University (TPU) ; eds. B. M. Kovalchuk [et al.]. [P. 234].— , 2016
Auteur principal: Bleykher (Bleicher) G. A. Galina Alekseevna
Autres auteurs: Borduleva A. O. Alena Olegovna, Yuryeva A. V. Alena Victorovna
Résumé:Title screen
Langue:anglais
Publié: 2016
Sujets:
Accès en ligne:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/35833
Format: Électronique Chapitre de livre
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=621310