|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
621309 |
| 005 |
20231101133144.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\conf\19876
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\conf\19863
|
| 090 |
|
|
|a 621309
|
| 100 |
|
|
|a 20161214d2016 k y0engy50 ba
|
| 101 |
0 |
|
|a eng
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a y z 101zy
|
| 135 |
|
|
|a drgn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a The mathematical model of the initial stage of surface treatment with particle flux
|f E. S. Parfenova, A. G. Knyazeva
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 230 |
|
|
|a 1 computer file (pdf; 220 Kb)
|
| 300 |
|
|
|a Title screen
|
| 463 |
|
0 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\conf\19513
|t Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
|o International Congress, October 2–7, 2016, Tomsk, Russia
|o abstracts
|f National Research Tomsk Polytechnic University (TPU) ; eds. B. M. Kovalchuk [et al.]
|v [P. 230]
|d 2016
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a математические модели
|
| 610 |
1 |
|
|a поверхности
|
| 610 |
1 |
|
|a потоки частиц
|
| 610 |
1 |
|
|a ионная имплантация
|
| 610 |
1 |
|
|a диффузия
|
| 610 |
1 |
|
|a механические напряжения
|
| 610 |
1 |
|
|a mathematical model
|
| 610 |
1 |
|
|a ion implantation
|
| 610 |
1 |
|
|a diffusion
|
| 610 |
1 |
|
|a mechanical stress
|
| 700 |
|
1 |
|a Parfenova
|b E. S.
|c Chemical Engineer
|c engineer of Tomsk Polytechnic University
|f 1989-
|g Elena Sergeevna
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\34500
|
| 701 |
|
1 |
|a Knyazeva
|b A. G.
|c Russian physicist
|c Professor of Tomsk Polytechnic University, doctor of physico-mathematical Sciences
|f 1962-
|g Anna Georgievna
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\32712
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|b Институт физики высоких технологий (ИФВТ)
|b Кафедра физики высоких технологий в машиностроении (ФВТМ)
|h 2087
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\18687
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20161230
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/35832
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
