Физические основы микротехнологии: пер. с англ.

Физические основы микротехнологии: пер. с англ.

Bibliografiske detaljer
Hovedforfatter: Броудай И. Ивор
Andre forfattere: Мерей Дж. Джулиус
Sprog:russisk
Udgivet: Москва, Мир, 1985
Fag:
микроэлектронные схемы
микротехнологии
физические основы
производство
частицы
тонкие пленки
литография
микроскопия
микрозонды
Format: Bog
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=62059

Lignende værker