Физические основы микротехнологии пер. с англ.

Физические основы микротехнологии, пер. с англ.

Bibliographic Details
Main Author: Броудай И. Ивор
Other Authors: Мерей Дж. Джулиус
Published: Москва, Мир, 1985
Subjects:
микроэлектронные схемы
микротехнологии
физические основы
производство
частицы
тонкие пленки
литография
микроскопия
микрозонды
Format: Book
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=62059

Similar Items