Физические основы микротехнологии, пер. с англ.

Podrobná bibliografie
Hlavní autor:	Броудай И. Ивор
Další autoři:	Мерей Дж. Джулиус
Vydáno:	Москва, Мир, 1985
Témata:	микроэлектронные схемы микротехнологии физические основы производство частицы тонкие пленки литография микроскопия микрозонды
Médium:	Kniha
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=62059

MARC


LEADER	00000nam0a2200000 4500
001	62059
005	20231031063031.0
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\book\65769
090			\|a 62059
100			\|a 20040331d1985 km y0rusy50 ca
101	1		\|a rus \|c eng
102			\|a RU
105			\|a a z 001zy
200	1		\|a Физические основы микротехнологии \|e пер. с англ. \|f И. Броудай, Дж. Мерей
210			\|a Москва \|c Мир \|d 1985
215			\|a 496 с. \|c ил.
320			\|a Библиогр.: с. 465-483
320			\|a Предметный указатель: с. 484-492
610	1		\|a микроэлектронные схемы
610	1		\|a микротехнологии
610	1		\|a физические основы
610	1		\|a производство
610	1		\|a частицы
610	1		\|a тонкие пленки
610	1		\|a литография
610	1		\|a микроскопия
610	1		\|a микрозонды
675			\|a 621.382.049 \|v 3
700		1	\|a Броудай \|b И. \|g Ивор
701		1	\|a Мерей \|b Дж. \|g Джулиус
801		1	\|a RU \|b 63413507 \|c 20040331 \|g PSBO
801		2	\|a RU \|b 63413507 \|c 20150216 \|g PSBO
942			\|c BK