Броудай И. Ивор & Мерей Дж. Джулиус. (1985). Физические основы микротехнологии: пер. с англ. Москва, Мир, 1985.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Броудай И. Ивор und Мерей Дж. Джулиус. Физические основы микротехнологии: пер. с англ. Москва, Мир, 1985, 1985.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Броудай И. Ивор und Мерей Дж. Джулиус. Физические основы микротехнологии: пер. с англ. Москва, Мир, 1985, 1985.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.