Изучение свойств поверхности и растворимости покрытий оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления

Изучение свойств поверхности и растворимости покрытий оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления

Bibliographic Details
Parent link:	Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине: сборник тезисов докладов VIII Международной научно-практической конференции, г. Томск, 1-3 июня 2016 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. О. Ю. Долматова [и др.]. [С. 124-125].— , 2016
Main Author:	Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Corporate Authors:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра химической технологии редких, рассеянных и радиоактивных элементов (№ 43) (ХТРЭ)
Other Authors:	Леонова Л. А. Лилия Александровна, Пустовалова А. А. Алла Александровна
Summary:	Заглавие с экрана
Published:	2016
Series:	Физико-химические и изотопные технологии в науке, промышленности и медицине
Subjects:	труды учёных ТПУ электронный ресурс поверхности растворимость покрытия оксинитриды титана реактивное магнетронное распыление
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/31245
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=619203

Internet

http://earchive.tpu.ru/handle/11683/31245