Повышение эрозионной стойкости кварцевого стекла при магнетронном нанесении наноструктурной пленки AL0,75SI0,25N
| Parent link: | Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XIII Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2016 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2016 Т. 1 : Физика.— 2016.— [С. 256-258] |
|---|---|
| Autor principal: | |
| Autor corporatiu: | |
| Altres autors: | , , |
| Sumari: | Заглавие с титульного экрана The coatings on the basis of Al-Si-N system with different thickness were prepared by impulsemagnetron sputtering method. The microhardness, the elastic modulus and the coefficient of elastic recovery were determined by nanoindentation method. Also experiment on high-speed interaction was conducted. |
| Idioma: | rus |
| Publicat: |
2016
|
| Matèries: | |
| Accés en línia: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/25826 |
| Format: | Electrònic Capítol de llibre |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=618135 |
MARC
| LEADER | 00000naa2a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 618135 | ||
| 005 | 20251120140759.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\conf\16516 | ||
| 035 | |a RU\TPU\conf\16515 | ||
| 090 | |a 618135 | ||
| 100 | |a 20160524d2016 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 105 | |a y z 101zy | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Повышение эрозионной стойкости кварцевого стекла при магнетронном нанесении наноструктурной пленки AL0,75SI0,25N |d IMproving erosion resistance quartz glass at magnetron sputtering of nanostructured film Al0.75Si0.25N |f Е. В. Рыбалко, И. А. Божко, А. В. Иванова |g науч. рук. В. П. Сергеев | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с титульного экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 258 (3 назв.)] | ||
| 330 | |a The coatings on the basis of Al-Si-N system with different thickness were prepared by impulsemagnetron sputtering method. The microhardness, the elastic modulus and the coefficient of elastic recovery were determined by nanoindentation method. Also experiment on high-speed interaction was conducted. | ||
| 461 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\conf\16353 |t Перспективы развития фундаментальных наук |l Prospects of Fundamental Sciences Development |o сборник научных трудов XIII Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2016 г. |o в 7 т. |f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой |d 2016 | |
| 463 | 0 | |0 (RuTPU)RU\TPU\conf\16354 |t Т. 1 : Физика |v [С. 256-258] |d 2016 | |
| 510 | 1 | |a IMproving erosion resistance quartz glass at magnetron sputtering of nanostructured film Al0.75Si0.25N |z eng | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a эрозионная стойкость | |
| 610 | 1 | |a кварцевые стекла | |
| 610 | 1 | |a космические аппараты | |
| 610 | 1 | |a микрочастицы | |
| 610 | 1 | |a железо | |
| 700 | 1 | |a Рыбалко |b Е. В. | |
| 701 | 1 | |a Божко |b И. А. |c физик |c доцент Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук |f 1980- |g Ирина Александровна |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30662 |9 14943 | |
| 701 | 1 | |a Иванова |b А. В. | |
| 702 | 1 | |a Сергеев |b В. П. |c специалист в области материаловедения |c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук |f 1949- |g Виктор Петрович |4 727 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет |c (2009- ) |9 26305 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20160628 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/25826 | |
| 942 | |c BK | ||