Повышение эрозионной стойкости кварцевого стекла при магнетронном нанесении наноструктурной пленки AL0,75SI0,25N
| Parent link: | Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XIII Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2016 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2016 Т. 1 : Физика.— 2016.— [С. 256-258] |
|---|---|
| Main Author: | |
| Corporate Author: | |
| Other Authors: | , , |
| Summary: | Заглавие с титульного экрана The coatings on the basis of Al-Si-N system with different thickness were prepared by impulsemagnetron sputtering method. The microhardness, the elastic modulus and the coefficient of elastic recovery were determined by nanoindentation method. Also experiment on high-speed interaction was conducted. |
| Published: |
2016
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/25826 |
| Format: | Electronic Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=618135 |