Исследование оптических свойств покрытий на основе Si-Al-N, полученных методом магнетронного напыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
| Parent link: | Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XIII Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2016 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2016 Т. 1 : Физика.— 2016.— [С. 211-213] |
|---|---|
| Main Author: | |
| Corporate Author: | |
| Other Authors: | , |
| Summary: | Заглавие с титульного экрана The results of the investigation of structural-phase state and optical properties of the coatings on thebasis of Si-Al-N, deposited on quartz glass by pulsed magnetron sputtering were presented. The transmissionspectra of formed coating in the range of 190-1100 nm were produced. Refractive index and the thickness of the Si-Al-N coating using transmission spectra and also the refractive index dispersion were determined. |
| Language: | Russian |
| Published: |
2016
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/26020 |
| Format: | Electronic Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=618121 |
MARC
| LEADER | 00000naa2a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 618121 | ||
| 005 | 20251124132541.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\conf\16502 | ||
| 035 | |a RU\TPU\conf\16501 | ||
| 090 | |a 618121 | ||
| 100 | |a 20160523d2016 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 105 | |a y z 101zy | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Исследование оптических свойств покрытий на основе Si-Al-N, полученных методом магнетронного напыления |d Study of optical properties of si-al-n coatings obtained by magnetron sputtering |f А. Г. Першукова, Е. В. Рыбалко |g науч. рук. И. А. Божко | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с титульного экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 213 (2 назв.)] | ||
| 330 | |a The results of the investigation of structural-phase state and optical properties of the coatings on thebasis of Si-Al-N, deposited on quartz glass by pulsed magnetron sputtering were presented. The transmissionspectra of formed coating in the range of 190-1100 nm were produced. Refractive index and the thickness of the Si-Al-N coating using transmission spectra and also the refractive index dispersion were determined. | ||
| 461 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\conf\16353 |t Перспективы развития фундаментальных наук |l Prospects of Fundamental Sciences Development |o сборник научных трудов XIII Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2016 г. |o в 7 т. |f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой |d 2016 | |
| 463 | 0 | |0 (RuTPU)RU\TPU\conf\16354 |t Т. 1 : Физика |v [С. 211-213] |d 2016 | |
| 510 | 1 | |a Study of optical properties of si-al-n coatings obtained by magnetron sputtering |z eng | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a сверхтвердые покрытия | |
| 610 | 1 | |a магнетронные напыления | |
| 610 | 1 | |a кварцевые стекла | |
| 610 | 1 | |a магнетронные напыления | |
| 610 | 1 | |a биполярные источники | |
| 700 | 1 | |a Першукова |b А. Г. | |
| 701 | 1 | |a Рыбалко |b Е. В. | |
| 702 | 1 | |a Божко |b И. А. |c физик |c доцент Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук |f 1980- |g Ирина Александровна |4 727 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет |c (2009- ) |9 26305 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20160628 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/26020 | |
| 942 | |c BK | ||