Исследование оптических свойств покрытий на основе Si-Al-N, полученных методом магнетронного напыления
| Parent link: | Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XIII Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2016 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2016 Т. 1 : Физика.— 2016.— [С. 211-213] |
|---|---|
| Main Author: | |
| Corporate Author: | |
| Other Authors: | , |
| Summary: | Заглавие с титульного экрана The results of the investigation of structural-phase state and optical properties of the coatings on thebasis of Si-Al-N, deposited on quartz glass by pulsed magnetron sputtering were presented. The transmissionspectra of formed coating in the range of 190-1100 nm were produced. Refractive index and the thickness of the Si-Al-N coating using transmission spectra and also the refractive index dispersion were determined. |
| Published: |
2016
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/26020 |
| Format: | Electronic Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=618121 |