Исследование воздействия реактивного ионного и плазмохимического травления на морфологию поверхности алмазных покрытий; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика

Исследование воздействия реактивного ионного и плазмохимического травления на морфологию поверхности алмазных покрытий; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика

Dades bibliogràfiques
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XIII Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2016 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2016 Т. 1 : Физика.— 2016.— [С. 205-207]
Autor principal:	Охотников В. В. Виталий Владимирович
Autor corporatiu:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Лаборатория № 1
Altres autors:	Линник С. А. Степан Андреевич (научный руководитель), Гайдайчук А. В. Александр Валерьевич
Sumari:	Заглавие с титульного экрана The effect of treatment by reactive ion etching in an argon atmosphere, and hydrogen plasma etching ina glow discharge plasma on the surface of the diamond films deposited by CVD method was investigated. Basedon the results of the research, changes in the surface morphology of the coatings and phase composition was analyzed, the processes occurring in the processing was researched.
Idioma:	rus
Publicat:	2016
Matèries:	труды учёных ТПУ электронный ресурс алмазные покрытия полупроводниковая электроника теплопроводность оптические элементы плазмохимическое травление
Accés en línia:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/26019
Format:	Electrònic Capítol de llibre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=618120

Ítems similars

Research of reactive ion and plasma-chemical etching effect on diamond coating surface morphology; AIP Conference Proceedings; Vol. 1772 : Prospects of Fundamental Sciences Development (PFSD-2016)
per: Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
Publicat: (2016)

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие для вузов
per: Галперин В. А. Вячеслав Александрович
Publicat: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010)

Кинетика процессов реактивного ионно-плазменного травления полупроводников в галогенсодержащей плазме учебно-методическое пособие для вузов
per: Владимирова Л. Н.
Publicat: (Воронеж, ВГУ, 2014)

Получение меза-структур методом реактивного ионно-плазменного травления; Перспективы развития фундаментальных наук
per: Ходыревская Ю. И.
Publicat: (2012)

Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения
per: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Publicat: (Москва, Техносфера, 2018)

Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий
per: Яфаров Р. К.
Publicat: (Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2009)

Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
per: Родионов Ю. А.
Publicat: (Санкт-Петербург, Лань, 2023)

Исследование физико-механических свойств алмазных покрытий; Современные материалы и технологии новых поколений
per: Кунашенко С. Е.
Publicat: (2019)

Работоспособность алмазных кругов
Publicat: (Киев, Технiка, 1983)

Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы: лабораторный практикум
Publicat: (Москва, Учеба, 2007)

Дайковый тип алмазных месторождений
per: Зубарев Б. М. Борис Матвеевич
Publicat: (Москва, Недра, 1989)

Плазмохимическое травление материалов электронной техники учебно-методическое пособие для вузов
per: Владимирова Л. Н.
Publicat: (Воронеж, ВГУ, 2014)

Улучшение адгезии поликристаллических алмазных пленок на режущем инструменте из WC-Co методом химического травления; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 7/2
per: Линник С. А. Степан Андреевич
Publicat: (2013)

Способы металлографического травления: справочник: пер. с нем.
per: Беккерт М.
Publicat: (Москва, Металлургия, 1988)

Травление полупроводников: пер. с англ.
Publicat: (Москва, Мир, 1965)

Т. 2: Технологические аспекты; Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий
Publicat: (2011)

Минералогические основы поисков алмазных месторождений
per: Харькив А. Д. Алексей Демьянович
Publicat: (Москва, Недра, 1978)

Технология изготовления и контроль качества алмазных порошков
per: Никитин Ю. И. Юрий Иванович
Publicat: (Киев, Наукова думка, 1984)

Регенерация электролитов полирования и травления; Экология и промышленность России; № 2
per: Фёдорова Е. А.
Publicat: (2002)

Получение и исследование наноструктур. Лабораторный практикум по нанотехнологиям: учебное пособие
Publicat: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2011)

Получение и исследование наноструктур: лабораторный практикум по нанотехнологиям
Publicat: (Москва, Бином ЛЗ, 2010)

Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов
per: Данилин Б. С. Борис Степанович
Publicat: (Москва, Энергоатомиздат, 1987)

Проблемы переработки отходов травления алюминийсодержащих сплавов; Безопасность жизнедеятельности; № 6
per: Гавриленков А. М.
Publicat: (2002)

Исследование деградации эффективности сбора заряда алмазных детекторов; Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2017)
per: Охотников В. В. Виталий Владимирович
Publicat: (2017)

Древние коры выветривания и поиски алмазных месторождений
per: Зинчук Н. Н. Николай Николаевич
Publicat: (Москва, Недра, 1983)

Физико-химические закономерности получения силикатных расплавов в низкотемпературной плазме и материалов на их основе: диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук; спец. 05.17.11
per: Волокитин О. Г. Олег Геннадьевич
Publicat: (Томск, [Б. и.], 2015)

The Research of Diamond Coatings Morphology Evolution under the Action of Reactive Ion Etching in Perpendicular Direction; Key Engineering Materials; Vol. 712 : Advanced Materials for Technical and Medical Purpose (AMTMP 2016)
per: Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
Publicat: (2016)

Исследования засаливания алмазных кругов на металлической связке; Справочник. Инженерный журнал; № 7
per: Янюшкин А. С.
Publicat: (2003)

Физико-химические закономерности получения силикатных расплавов в низкотемпературной плазме и материалов на их основе: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук; спец. 05.17.11
per: Волокитин О. Г. Олег Геннадьевич
Publicat: (Томск, [Б. и.], 2015)

Технология травления и одновременной регенерации травильных растворов; Современные техника и технологии; Т. 3
per: Исмагулова А. Д.
Publicat: (2011)

Рекомендации по применению алмазных инструментов в промышленности
Publicat: (Москва, Изд-во НИИ информации по машиностроению, 1969)

Методы получения и исследования наноматериалов и наноструктур. Лабораторный практикум по нанотехнологиям: учебное пособие
Publicat: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2013)

Физико-химические закономерности получения силикатных расплавов в низкотемпературной плазме и материалов на их основе: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук; спец. 05.17.11
per: Волокитин О. Г. Олег Геннадьевич
Publicat: (Томск, 2015)

Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
per: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Publicat: (Москва, Техносфера, 2010)

Сверление отверстий в корпусах алмазных дисковых пил; Синтетические алмазы; Вып. 4 (22)
Publicat: (1972)

Введение в минералогию алмазных месторождений
per: Гаранин В. К. Виктор Константинович
Publicat: (Москва, Изд-во МГУ, 1989)

Вып. 17; Диэлектрики и полупроводники
Publicat: (1980)

Экспериментальные исследования и компьютерное моделирование процессов селективного химического травления титана ВТ1-0; Новые материалы. Создание, структура, свойства - 2010
per: Крикуненко А. С. Анна Сергеевна
Publicat: (2010)

Устройство для травления и одновременной регенерации травильных растворов: полезная модель
Publicat: ()

Определение флюенса быстрых нейтронов с помощью алмазных датчиков; Атомная энергия; Т. 98, вып. 2
per: Николаенко В. А.
Publicat: (2005)