Исследование воздействия реактивного ионного и плазмохимического травления на морфологию поверхности алмазных покрытий

Исследование воздействия реактивного ионного и плазмохимического травления на морфологию поверхности алмазных покрытий

Bibliografiske detaljer
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XIII Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2016 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2016 Т. 1 : Физика.— 2016.— [С. 205-207]
Hovedforfatter:	Охотников В. В. Виталий Владимирович
Institution som forfatter:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Лаборатория № 1
Andre forfattere:	Линник С. А. Степан Андреевич (727), Гайдайчук А. В. Александр Валерьевич
Summary:	Заглавие с титульного экрана The effect of treatment by reactive ion etching in an argon atmosphere, and hydrogen plasma etching ina glow discharge plasma on the surface of the diamond films deposited by CVD method was investigated. Basedon the results of the research, changes in the surface morphology of the coatings and phase composition was analyzed, the processes occurring in the processing was researched.
Sprog:	russisk
Udgivet:	2016
Fag:	труды учёных ТПУ электронный ресурс алмазные покрытия полупроводниковая электроника теплопроводность оптические элементы плазмохимическое травление
Online adgang:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/26019
Format:	Electronisk Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=618120

Lignende værker

Research of reactive ion and plasma-chemical etching effect on diamond coating surface morphology
af: Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
Udgivet: (2016)

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях учебное пособие для вузов
af: Галперин В. А. Вячеслав Александрович
Udgivet: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010)

Получение меза-структур методом реактивного ионно-плазменного травления
af: Ходыревская Ю. И.
Udgivet: (2012)

Кинетика процессов реактивного ионно-плазменного травления полупроводников в галогенсодержащей плазме учебно-методическое пособие для вузов
af: Владимирова Л. Н.
Udgivet: (Воронеж, ВГУ, 2014)

Исследование физико-механических свойств алмазных покрытий
af: Кунашенко С. Е.
Udgivet: (2019)

Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения
af: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Udgivet: (Москва, Техносфера, 2018)

Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий
af: Яфаров Р. К.
Udgivet: (Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2009)

Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
af: Родионов Ю. А.
Udgivet: (Санкт-Петербург, Лань, 2023)

Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы лабораторный практикум
Udgivet: (Москва, Учеба, 2007)

Способы металлографического травления справочник: пер. с нем.
af: Беккерт М.
Udgivet: (Москва, Металлургия, 1988)

Плазмохимическое травление материалов электронной техники учебно-методическое пособие для вузов
af: Владимирова Л. Н.
Udgivet: (Воронеж, ВГУ, 2014)

Улучшение адгезии поликристаллических алмазных пленок на режущем инструменте из WC-Co методом химического травления
af: Линник С. А. Степан Андреевич
Udgivet: (2013)

Травление полупроводников пер. с англ.
Udgivet: (Москва, Мир, 1965)

Работоспособность алмазных кругов
Udgivet: (Киев, Технiка, 1983)

Регенерация электролитов полирования и травления
af: Фёдорова Е. А.
Udgivet: (2002)

Исследование деградации эффективности сбора заряда алмазных детекторов
af: Охотников В. В. Виталий Владимирович
Udgivet: (2017)

Т. 2: Технологические аспекты
Udgivet: (2011)

Дайковый тип алмазных месторождений
af: Зубарев Б. М. Борис Матвеевич
Udgivet: (Москва, Недра, 1989)

Получение и исследование наноструктур лабораторный практикум по нанотехнологиям
Udgivet: (Москва, Бином ЛЗ, 2010)

Получение и исследование наноструктур. Лабораторный практикум по нанотехнологиям учебное пособие
Udgivet: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2011)

Проблемы переработки отходов травления алюминийсодержащих сплавов
af: Гавриленков А. М.
Udgivet: (2002)

Технология травления и одновременной регенерации травильных растворов
af: Исмагулова А. Д.
Udgivet: (2011)

The Research of Diamond Coatings Morphology Evolution under the Action of Reactive Ion Etching in Perpendicular Direction
af: Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
Udgivet: (2016)

Минералогические основы поисков алмазных месторождений
af: Харькив А. Д. Алексей Демьянович
Udgivet: (Москва, Недра, 1978)

Физико-химические закономерности получения силикатных расплавов в низкотемпературной плазме и материалов на их основе диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук спец. 05.17.11
af: Волокитин О. Г. Олег Геннадьевич
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 2015)

Исследования засаливания алмазных кругов на металлической связке
af: Янюшкин А. С.
Udgivet: (2003)

Физико-химические закономерности получения силикатных расплавов в низкотемпературной плазме и материалов на их основе автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук спец. 05.17.11
af: Волокитин О. Г. Олег Геннадьевич
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 2015)

Изучение модифицированной структуры полимеров методом травления кислородной плазмой
Udgivet: (2011)

Технология изготовления и контроль качества алмазных порошков
af: Никитин Ю. И. Юрий Иванович
Udgivet: (Киев, Наукова думка, 1984)

Физико-химические закономерности получения силикатных расплавов в низкотемпературной плазме и материалов на их основе автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук спец. 05.17.11
af: Волокитин О. Г. Олег Геннадьевич
Udgivet: (Томск, 2015)

Методы получения и исследования наноматериалов и наноструктур. Лабораторный практикум по нанотехнологиям учебное пособие
Udgivet: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2013)

Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
af: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Udgivet: (Москва, Техносфера, 2010)

Древние коры выветривания и поиски алмазных месторождений
af: Зинчук Н. Н. Николай Николаевич
Udgivet: (Москва, Недра, 1983)

Сверление отверстий в корпусах алмазных дисковых пил
Udgivet: (1972)

Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов
af: Данилин Б. С. Борис Степанович
Udgivet: (Москва, Энергоатомиздат, 1987)

Определение флюенса быстрых нейтронов с помощью алмазных датчиков
af: Николаенко В. А.
Udgivet: (2005)

Вып. 17
Udgivet: (1980)

Синтез алмазных плёнок в плазме импульсного разряда
af: Кованцев А. С.
Udgivet: (2011)

Влияние кобальта на адгезионную прочность поликристаллических алмазных покрытий на твердых сплавах WC-Co
af: Линник С. А. Степан Андреевич
Udgivet: (2018)

Контактно-эрозионная правка алмазных торцовых кругов
af: Бахтиаров Ш. А.
Udgivet: (2002)