Магнетронное осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана

Магнетронное осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана

Bibliographische Detailangaben
Parent link:	Функциональные материалы: разработка, исследование, применение: сборник тезисов докладов III Всероссийского конкурса научных докладов студентов, г.Томск, г.Тамбов, 26-27 мая 2015 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ) ; Тамбовский государственный университет имени Г. Р. Державина ; ред. кол. И. А. Курзина [и др.]. [С. 121].— , 2015
1. Verfasser:	Михневич К. С.
Körperschaft:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Weitere Verfasser:	Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич (727)
Zusammenfassung:	Заглавие с титульного экрана
Veröffentlicht:	2015
Schriftenreihe:	Материалы для повышения качества жизни
Schlagworte:	труды учёных ТПУ электронный ресурс магнетронное осаждение барьерные слои нитрид титана металлизация
Online-Zugang:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/23981 http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2015/C96/119.pdf
Format:	Elektronisch Buchkapitel
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=614494

Ähnliche Einträge

Осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана с помощью дуальной МРС
von: Киселева Д. В.
Veröffentlicht: (2015)

Высокоскоростное магнетронное осаждение покрытий нитрида хрома
von: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Veröffentlicht: (2020)

Deposition of barrier layers of titanium nitride using dual magnetron
von: Yuriev Yu. N. Yuri Nikolaevich
Veröffentlicht: (2015)

Оптимизация толщины водородонепроницаемых покрытий на основе нитрида титана
von: Фу Сияо
Veröffentlicht: (2017)

Магнетронное осаждение просветляющих слоев в низкоэмиссионном покрытии типа TiO₂-Cu-TiO₂
Veröffentlicht: (2013)

Закономерности формирования микроструктуры покрытий на основе нитрида титана, полученных методом ионно-плазменного осаждения
von: Овечкин В. И.
Veröffentlicht: (2009)

Получение нанокомпозитных покрытий на основе системы Ti-Al-Si-N с помощью двух магнетронов
Veröffentlicht: (2009)

Импульсное магнетронное осаждение покрытий на основе системы Cu-Mo-S
Veröffentlicht: (2015)

Влияние потенциала смещения на структуру и распределение элементов в покрытиях нитрида титана, полученных методом катодно-дугового осаждения
Veröffentlicht: (2016)

Магнетронное осаждение покрытий с испарением мишени
von: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Veröffentlicht: (2015)

Исследование влияния водорода на покрытия нитрида титана, получаемые вакуумно-дуговым осаждением
von: Ле Ч.
Veröffentlicht: (2014)

Распределение элементов в покрытиях нитрида титана, полученных вакуумно-дуговым осаждением с различным потенциалом смещения
von: Чжан Ле
Veröffentlicht: (2015)

Исследование режущих свойств объемного поликристаллического нитрида титана
von: Ким А. Б. Алексей Богович
Veröffentlicht: (2014)

Осаждение TiN с помощью дуальной магнетронной распылительной системы
von: Тупикова О. С. Ольга Сергеевна
Veröffentlicht: (2011)

Локальная структура покрытий на основе нитрида титана
Veröffentlicht: (2015)

Исследование водородостойкости, механических и трибологических свойств циркониевого сплава Э110 с покрытием нитрида титана, осажденного методом магнетронного распыления
von: Керимкулов Э. М.
Veröffentlicht: (2018)

Принципы формирования и технологии нанесения износостойких покрытий режущего инструмента учебное пособие
von: Табаков В. П.
Veröffentlicht: (Ульяновск, УлГТУ, 2023)

Локальная структура покрытий на основе нитрида титана
Veröffentlicht: (2016)

Реактивное магнетронное напыление биосовместимых азотсодержащих покрытий из оксидов титана диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
von: Конищев М. Е. Максим Евгеньевич
Veröffentlicht: (Томск, 2025)

Реактивное магнетронное напыление биосовместимых азотсодержащих покрытий из оксидов титана автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
von: Конищев М. Е. Максим Евгеньевич
Veröffentlicht: (Томск, 2025)

Применение встречных плазменных струй для получения шихты на основе нитрида титана
von: Евдокимов А. А. Андрей Анатольевич
Veröffentlicht: (2013)

Исследование фазового состава объемного образца нитрида титана
von: Евдокимов А. А. Андрей Анатольевич
Veröffentlicht: (2011)

Физико-механические свойства объемного образца нитрида титана
von: Евдокимов А. А. Андрей Анатольевич
Veröffentlicht: (2011)

Получение порошкообразного нитрида титана в гиперскоростной плазменной структуре
von: Евдокимов А. А. Андрей Анатольевич
Veröffentlicht: (2009)

Оптические свойства пленок азотосодержащего оксида титана, осажденных магнетронным распылением
von: Сунь Чжилэй
Veröffentlicht: (2019)

Оптические характеристики плазмы магнетронного разряда в условиях осаждения оксидов и оксинитридов титана
von: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Veröffentlicht: (2010)

Исследование пленок азотосодержащего оксида титана осажденных магнетронным распылением
von: Сунь Чжилэй
Veröffentlicht: (2020)

Нанесение плёнок нитрида титана на легкоплавкие диэлектрические материалы
von: Мюсова А. Е.
Veröffentlicht: (2021)

Инженерия поверхностей металлов и сплавов с использованием многокомпонентных плазменных потоков и ионно-ассистированного осаждения
von: Белый А. В.
Veröffentlicht: (Минск, Белорусская наука, 2024)

Исследование влияния давления азота на дисперсность частиц нитрида титана
von: Евдокимов А. А. Андрей Анатольевич
Veröffentlicht: (2012)

Исследование структуры нанокристаллических покрытий на основе нитрида титана матодом порошковой дифрактометрии с синхронным излучением
von: Галимов Р. М.
Veröffentlicht: (2009)

Водородопроницаемость покрытий нитрида титана, полученных методом вакуумно-дугового осаждения
von: Чжан Ле
Veröffentlicht: (2017)

Formation of titanium interlayer by vacuum arc deposition to increase the durability of titanium nitride coatings under thermal cycling conditions
Veröffentlicht: (2015)

Получение объемного поликристаллического нитрида титана с субмикронной структурой плазменными методами
von: Евдокимов А. А. Андрей Анатольевич
Veröffentlicht: (2013)

Влияние конфигурации магнитного поля дуальной МРС на свойства пленок нитрида титана
von: Бутько Я. А. Яна Александровна
Veröffentlicht: (2013)

Влияние давления азота в реакционной камере на параметры нитрида титана, полученного методом плазмодинамического синтеза
von: Сивков А. А. Александр Анатольевич
Veröffentlicht: (2017)

Компактирование нанодисперсных порошков нитрида титана плазмодинамического синтеза методом искрового плазменного спекания
von: Усиков А. И. Антон Иванович
Veröffentlicht: (2013)

Введение меди в состав шихты нитрида титана методом встречных плазменных струй
von: Евдокимов А. А. Андрей Анатольевич
Veröffentlicht: (2013)

Сильноточное магнетронное распыление Al мишени
von: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Veröffentlicht: (2018)

Нанокристаллических покрытия, получаемые вакуумно-дуговым методом с плазменным ассистированием: синтез, структура, характеристики
Veröffentlicht: (2011)