Магнетронное осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение

Магнетронное осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение

Bibliographic Details
Parent link:	Функциональные материалы: разработка, исследование, применение.— 2015.— [С. 121]
Main Author:	Михневич К. С.
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Other Authors:	Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич (научный руководитель)
Summary:	Заглавие с титульного экрана
Language:	Russian
Published:	2015
Series:	Материалы для повышения качества жизни
Subjects:	труды учёных ТПУ электронный ресурс магнетронное осаждение барьерные слои нитрид титана металлизация
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/23981 http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2015/C96/119.pdf
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=614494

Similar Items

Осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана с помощью дуальной МРС; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Киселева Д. В.
Published: (2015)

Высокоскоростное магнетронное осаждение покрытий нитрида хрома; Современные проблемы машиностроения
by: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Published: (2020)

Deposition of barrier layers of titanium nitride using dual magnetron; Известия вузов. Физика; V. 58, № 9-3
by: Yuriev Yu. N. Yuri Nikolaevich
Published: (2015)

Оптимизация толщины водородонепроницаемых покрытий на основе нитрида титана; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Фу Сияо
Published: (2017)

Магнетронное осаждение просветляющих слоев в низкоэмиссионном покрытии типа TiO₂-Cu-TiO₂; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 11/3
Published: (2013)

Закономерности формирования микроструктуры покрытий на основе нитрида титана, полученных методом ионно-плазменного осаждения; Новые материалы. Создание, структура, свойства-2009
by: Овечкин В. И.
Published: (2009)

Получение нанокомпозитных покрытий на основе системы Ti-Al-Si-N с помощью двух магнетронов; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 315, № 2: Математика и механика. Физика
Published: (2009)

Влияние потенциала смещения на структуру и распределение элементов в покрытиях нитрида титана, полученных методом катодно-дугового осаждения; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 6
Published: (2016)

Исследование влияния водорода на покрытия нитрида титана, получаемые вакуумно-дуговым осаждением; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Ле Ч.
Published: (2014)

Импульсное магнетронное осаждение покрытий на основе системы Cu-Mo-S; Высокие технологии в современной науке и технике
Published: (2015)

Распределение элементов в покрытиях нитрида титана, полученных вакуумно-дуговым осаждением с различным потенциалом смещения; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Чжан Ле
Published: (2015)

Магнетронное осаждение покрытий с испарением мишени; Журнал технической физики; Т. 85, вып. 12
by: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Published: (2015)

Осаждение TiN с помощью дуальной магнетронной распылительной системы; Современные техника и технологии; Т. 3
by: Тупикова О. С. Ольга Сергеевна
Published: (2011)

Исследование водородостойкости, механических и трибологических свойств циркониевого сплава Э110 с покрытием нитрида титана, осажденного методом магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Керимкулов Э. М.
Published: (2018)

Исследование режущих свойств объемного поликристаллического нитрида титана; Инновационные технологии и экономика в машиностроении; Т. 1
by: Ким А. Б. Алексей Богович
Published: (2014)

Принципы формирования и технологии нанесения износостойких покрытий режущего инструмента учебное пособие
by: Табаков В. П.
Published: (Ульяновск, УлГТУ, 2023)

Применение встречных плазменных струй для получения шихты на основе нитрида титана; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Евдокимов А. А. Андрей Анатольевич
Published: (2013)

Реактивное магнетронное напыление биосовместимых азотсодержащих покрытий из оксидов титана: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
by: Конищев М. Е. Максим Евгеньевич
Published: (Томск, 2025)

Реактивное магнетронное напыление биосовместимых азотсодержащих покрытий из оксидов титана: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
by: Конищев М. Е. Максим Евгеньевич
Published: (Томск, 2025)

Локальная структура покрытий на основе нитрида титана; XLV Международная Тулиновская конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами: ФВЗЧК-2015
Published: (2015)

Локальная структура покрытий на основе нитрида титана; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 4
Published: (2016)

Оптические характеристики плазмы магнетронного разряда в условиях осаждения оксидов и оксинитридов титана; Современные техника и технологии; Т. 3
by: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Published: (2010)

Нанесение плёнок нитрида титана на легкоплавкие диэлектрические материалы; Изотопы: технологии, материалы и применение
by: Мюсова А. Е.
Published: (2021)

Оптические свойства пленок азотосодержащего оксида титана, осажденных магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Сунь Чжилэй
Published: (2019)

Инженерия поверхностей металлов и сплавов с использованием многокомпонентных плазменных потоков и ионно-ассистированного осаждения
by: Белый А. В.
Published: (Минск, Белорусская наука, 2024)

Исследование фазового состава объемного образца нитрида титана; Современные техника и технологии; Т. 3
by: Евдокимов А. А. Андрей Анатольевич
Published: (2011)

Физико-механические свойства объемного образца нитрида титана; Современные техника и технологии; Т. 3
by: Евдокимов А. А. Андрей Анатольевич
Published: (2011)

Исследование пленок азотосодержащего оксида титана осажденных магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Сунь Чжилэй
Published: (2020)

Получение порошкообразного нитрида титана в гиперскоростной плазменной структуре; Новые материалы. Создание, структура, свойства-2009
by: Евдокимов А. А. Андрей Анатольевич
Published: (2009)

Исследование влияния давления азота на дисперсность частиц нитрида титана; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Евдокимов А. А. Андрей Анатольевич
Published: (2012)

Исследование структуры нанокристаллических покрытий на основе нитрида титана матодом порошковой дифрактометрии с синхронным излучением; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
by: Галимов Р. М.
Published: (2009)

Электропроводность огнеупоров и релаксационные явления на барьерных слоях
by: Орешкин П. Т.
Published: (Москва, Металлургия, 1965)

Formation of titanium interlayer by vacuum arc deposition to increase the durability of titanium nitride coatings under thermal cycling conditions; Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques; Vol. 9, iss. 6
Published: (2015)

Получение объемного поликристаллического нитрида титана с субмикронной структурой плазменными методами; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Евдокимов А. А. Андрей Анатольевич
Published: (2013)

Влияние конфигурации магнитного поля дуальной МРС на свойства пленок нитрида титана; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Бутько Я. А. Яна Александровна
Published: (2013)

Нанокристаллических покрытия, получаемые вакуумно-дуговым методом с плазменным ассистированием: синтез, структура, характеристики; Обработка металлов (технология, оборудование, инструменты); № 3 (52)
Published: (2011)

Влияние давления азота в реакционной камере на параметры нитрида титана, полученного методом плазмодинамического синтеза; Российские нанотехнологии; Т. 12, № 11-12
by: Сивков А. А. Александр Анатольевич
Published: (2017)

Введение меди в состав шихты нитрида титана методом встречных плазменных струй; Современные техника и технологии; Т. 3
by: Евдокимов А. А. Андрей Анатольевич
Published: (2013)

Получение объемных сверхтвердых материалов нитрида титана методом спекания в плазме искрового разряда; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Усиков А. И. Антон Иванович
Published: (2012)

Газофазное осаждение покрытий из нитрида титана
by: Витязь П. А. Петр Александрович
Published: (Минск, Наука и техника, 1983)