Магнетронное осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение

Bibliographic Details
Parent link:	Функциональные материалы: разработка, исследование, применение.— 2015.— [С. 121]
Main Author:	Михневич К. С.
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Other Authors:	Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич (научный руководитель)
Summary:	Заглавие с титульного экрана
Language:	Russian
Published:	2015
Series:	Материалы для повышения качества жизни
Subjects:	труды учёных ТПУ электронный ресурс магнетронное осаждение барьерные слои нитрид титана металлизация
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/23981 http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2015/C96/119.pdf
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=614494

Internet