Магнетронное осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение

Bibliografiske detaljer
Parent link:	Функциональные материалы: разработка, исследование, применение.— 2015.— [С. 121]
Hovedforfatter:	Михневич К. С.
Institution som forfatter:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Andre forfattere:	Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич (научный руководитель)
Summary:	Заглавие с титульного экрана
Sprog:	russisk
Udgivet:	2015
Serier:	Материалы для повышения качества жизни
Fag:	труды учёных ТПУ электронный ресурс магнетронное осаждение барьерные слои нитрид титана металлизация
Online adgang:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/23981 http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2015/C96/119.pdf
Format:	MixedMaterials Electronisk Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=614494

Internet