|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
614494 |
| 005 |
20231101132818.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\conf\12664
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\conf\12663
|
| 090 |
|
|
|a 614494
|
| 100 |
|
|
|a 20150928d2015 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a y z 101zy
|
| 135 |
|
|
|a drcn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Магнетронное осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана
|f К. С. Михневич
|g науч. рук. Ю. Н. Юрьев
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 225 |
1 |
|
|a Материалы для повышения качества жизни
|
| 230 |
|
|
|a 1 компьютерный файл (pdf; 226 Кb)
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с титульного экрана
|
| 337 |
|
|
|a Adobe Reader
|
| 463 |
|
0 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\conf\12499
|t Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
|o сборник тезисов докладов III Всероссийского конкурса научных докладов студентов, г.Томск, г.Тамбов, 26-27 мая 2015 г.
|f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ) ; Тамбовский государственный университет имени Г. Р. Державина ; ред. кол. И. А. Курзина [и др.]
|v [С. 121]
|d 2015
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронное осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a барьерные слои
|
| 610 |
1 |
|
|a нитрид титана
|
| 610 |
1 |
|
|a металлизация
|
| 700 |
|
1 |
|a Михневич
|b К. С.
|
| 702 |
|
1 |
|a Юрьев
|b Ю. Н.
|c специалист в области водородной энергетики
|c заведующий лабораторией Томского политехнического университета, младший научный сотрудник
|f 1984-
|g Юрий Николаевич
|2 stltpush
|4 727
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|c (2009- )
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\15902
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20210220
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/23981
|
| 856 |
4 |
|
|u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2015/C96/119.pdf
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
