Михневич К. С. & Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич. (2015). Магнетронное осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение. 2015.
Chicago Style (17th ed.) CitationМихневич К. С. and Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич. Магнетронное осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение. 2015, 2015.
MLA (9th ed.) CitationМихневич К. С. and Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич. Магнетронное осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение. 2015, 2015.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.