APA (7th ed.) Citation

Михневич К. С. & Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич. (2015). Магнетронное осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана. 2015.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Михневич К. С. and Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич. Магнетронное осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана. 2015, 2015.

MLA (9th ed.) Citation

Михневич К. С. and Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич. Магнетронное осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана. 2015, 2015.

Warning: These citations may not always be 100% accurate.