|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
613563 |
| 005 |
20231101132750.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\conf\11708
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\conf\11704
|
| 090 |
|
|
|a 613563
|
| 100 |
|
|
|a 20150819d2015 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a y z 101zy
|
| 135 |
|
|
|a drgn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Методы напыления ультратонких металлических пленок
|f А. В. Тесленок
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 225 |
1 |
|
|a Пучково-плазменные и электроразрядные технологии
|
| 230 |
|
|
|a 1 компьютерный файл (pdf; 294 Kb)
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с титульного экрана
|
| 320 |
|
|
|a [Библиогр.: с. 43 (6 назв.)]
|
| 337 |
|
|
|a Adobe Reader
|
| 463 |
|
0 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\conf\11660
|t Высокие технологии в современной науке и технике
|o сборник научных трудов IV Международной научно-технической конференции молодых ученых, аспирантов и студентов, г. Томск, 21-24 апреля 2015 г.
|f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. А. Н. Яковлева
|v [С. 40-43]
|d 2015
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a напыление
|
| 610 |
1 |
|
|a ультратонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a металлические пленки
|
| 700 |
|
1 |
|a Тесленок
|b А. В.
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|c (2009- )
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\15902
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20210127
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/15596
|
| 856 |
4 |
|
|u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2015/C17/009.pdf
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
