Методы напыления ультратонких металлических пленок; Высокие технологии в современной науке и технике

Bibliographische Detailangaben
Parent link:	Высокие технологии в современной науке и технике.— 2015.— [С. 40-43]
1. Verfasser:	Тесленок А. В.
Körperschaft:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Zusammenfassung:	Заглавие с титульного экрана
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	2015
Schriftenreihe:	Пучково-плазменные и электроразрядные технологии
Schlagworte:	труды учёных ТПУ электронный ресурс напыление ультратонкие пленки металлические пленки
Online-Zugang:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/15596 http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2015/C17/009.pdf
Format:	Elektronisch Buchkapitel
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=613563

Online