Влияние содержания алюминия на свойства покрытий на основе Al-Si-N

Bibliographic Details
Parent link:Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of fundamental sciences development: сборник научных трудов XII Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 21-24 апреля 2015 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ) ; Томский государственный архитектурно-строительный университет (ТГАСУ) ; Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (ТУСУР) ; ред. кол. И. А. Курзина ; Г. А. Воронова ; С. А. Поробова. [С. 1088-1090].— , 2015
Main Author: Рыбалко Е. В.
Corporate Author: Национальный исследовательский Томский политехнический университет
Other Authors: Божко И. А. Ирина Александровна (727), Калашников М. П. Марк Петрович, Сергеев В. П. Виктор Петрович
Summary:Заглавие с экрана
The transparent coatings on the basis of Al-Si-N system with high and low Al content were prepared by impulse magnetron sputtering method. Structural-phase state of the two types of coatings was examined by X-ray analysis. The microhardness, the elastic modulus and the coefficient of elastic recovery were determined by nanoindentation method. Also the optical transmission was measured for all types of samples.
Published: 2015
Series:Наноматериалы и нанотехнологии
Subjects:
Online Access:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19078
http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2015/C21/346.pdf
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=613180

MARC

LEADER 00000naa2a2200000 4500
001 613180
005 20251125113935.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\conf\11312 
035 |a RU\TPU\conf\11306 
090 |a 613180 
100 |a 20150708d2015 k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a z 101zy 
135 |a drcn ---uucaa 
181 0 |a i  
182 0 |a b 
200 1 |a Влияние содержания алюминия на свойства покрытий на основе Al-Si-N  |d Effect of aluminum content on properties of coatings based on Al-Si-N  |f Е. В. Рыбалко, И. А. Божко, М. П. Калашников  |g науч. рук. В. П. Сергеев 
203 |a Текст  |c электронный 
215 |a 1 файл(321 Кб) 
225 1 |a Наноматериалы и нанотехнологии 
300 |a Заглавие с экрана 
320 |a [Библиогр.: с. 1090 (3 назв.)] 
330 |a The transparent coatings on the basis of Al-Si-N system with high and low Al content were prepared by impulse magnetron sputtering method. Structural-phase state of the two types of coatings was examined by X-ray analysis. The microhardness, the elastic modulus and the coefficient of elastic recovery were determined by nanoindentation method. Also the optical transmission was measured for all types of samples. 
337 |a Adobe Reader 
463 1 |0 (RuTPU)RU\TPU\conf\10376  |t Перспективы развития фундаментальных наук  |l Prospects of fundamental sciences development  |o сборник научных трудов XII Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 21-24 апреля 2015 г.  |f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ) ; Томский государственный архитектурно-строительный университет (ТГАСУ) ; Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (ТУСУР) ; ред. кол. И. А. Курзина ; Г. А. Воронова ; С. А. Поробова  |v [С. 1088-1090]  |d 2015 
510 1 |a Effect of aluminum content on properties of coatings based on Al-Si-N  |z eng 
610 1 |a электронный ресурс 
610 1 |a труды учёных ТПУ 
610 1 |a алюминий 
610 1 |a покрытия 
610 1 |a наноструктурные материалы 
610 1 |a нанокомпозитные покрытия 
700 1 |a Рыбалко  |b Е. В. 
701 1 |a Божко  |b И. А.  |c физик  |c доцент Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук  |f 1980-  |g Ирина Александровна  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30662  |9 14943 
701 1 |a Калашников  |b М. П.  |c физик  |c инженер Томского политехнического университета  |g Марк Петрович  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\31797 
702 1 |a Сергеев  |b В. П.  |c специалист в области материаловедения  |c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук  |f 1949-  |g Виктор Петрович  |4 727 
712 0 2 |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет  |c (2009- )  |9 26305 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20101016 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20210128  |g RCR 
856 4 |u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19078 
856 4 |u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2015/C21/346.pdf 
942 |c BK