Влияние содержания алюминия на свойства покрытий на основе Al-Si-N
| Parent link: | Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of fundamental sciences development: сборник научных трудов XII Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 21-24 апреля 2015 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ) ; Томский государственный архитектурно-строительный университет (ТГАСУ) ; Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (ТУСУР) ; ред. кол. И. А. Курзина ; Г. А. Воронова ; С. А. Поробова. [С. 1088-1090].— , 2015 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Corporate Author: | |
| Other Authors: | , , |
| Summary: | Заглавие с экрана The transparent coatings on the basis of Al-Si-N system with high and low Al content were prepared by impulse magnetron sputtering method. Structural-phase state of the two types of coatings was examined by X-ray analysis. The microhardness, the elastic modulus and the coefficient of elastic recovery were determined by nanoindentation method. Also the optical transmission was measured for all types of samples. |
| Published: |
2015
|
| Series: | Наноматериалы и нанотехнологии |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19078 http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2015/C21/346.pdf |
| Format: | Electronic Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=613180 |