$Characterization of nitrogen-containing titanium dioxide thin films by X-ray diffraction and IR spectroscopy techniques$

Characterization of nitrogen-containing titanium dioxide thin films by X-ray diffraction and IR spectroscopy techniques

Bibliographic Details
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук.— 2015.— [С. 1079-1081]
Main Author:	Пустовалова А. А. Алла Александровна
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ)
Other Authors:	Иванова Н. М. Нина Михайловна (727), Пичугин В. Ф. Владимир Федорович
Summary:	Заглавие с экрана В работе приводятся результаты исследования структуры и химического состава азотсодержащих тонких пленок диоксида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления. Приведены результаты анализа изменения структуры и фазового состава тонких пленок диоксида титана при увеличении содержания азота в газовой смеси методом рентгеновской дифракции. Химические связи, присутствующие в пленках, исследовались методом ИК-спектроскопии.
Language:	English
Published:	2015
Series:	Наноматериалы и нанотехнологии
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ тонкие пленки диоксид титана рентгеновская дифракция ИК-спектроскопия
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19076 http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2015/C21/343.pdf
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=613177

Internet

http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19076
http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2015/C21/343.pdf