Characterization of nitrogen-containing titanium dioxide thin films by X-ray diffraction and IR spectroscopy techniques

Bibliographic Details
Parent link:Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of fundamental sciences development: сборник научных трудов XII Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 21-24 апреля 2015 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ) ; Томский государственный архитектурно-строительный университет (ТГАСУ) ; Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (ТУСУР) ; ред. кол. И. А. Курзина ; Г. А. Воронова ; С. А. Поробова. [С. 1079-1081].— , 2015
Main Author: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Corporate Author: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ)
Other Authors: Иванова Н. М. Нина Михайловна (727), Пичугин В. Ф. Владимир Федорович
Summary:Заглавие с экрана
В работе приводятся результаты исследования структуры и химического состава азотсодержащих тонких пленок диоксида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления. Приведены результаты анализа изменения структуры и фазового состава тонких пленок диоксида титана при увеличении содержания азота в газовой смеси методом рентгеновской дифракции. Химические связи, присутствующие в пленках, исследовались методом ИК-спектроскопии.
Published: 2015
Series:Наноматериалы и нанотехнологии
Subjects:
Online Access:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19076
http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2015/C21/343.pdf
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=613177