Распределение элементов в покрытиях нитрида титана, полученных вакуумно-дуговым осаждением с различным потенциалом смещения; Перспективы развития фундаментальных наук

গ্রন্থ-পঞ্জীর বিবরন
Parent link:Перспективы развития фундаментальных наук.— 2015.— [С. 302-304]
প্রধান লেখক: Чжан Ле
সংস্থা লেখক: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра общей физики (ОФ)
অন্যান্য লেখক: Кашкаров Е. Б. Егор Борисович (научный руководитель)
সংক্ষিপ্ত:Заглавие с экрана
This paper is devoted to investigation of element distribution and microparticles formation during deposition of titanium nitride coatings by cathodic vacuum arc with pulsed bias voltage. The results revealed that with the increase in bias voltage from -100 to -300 V, Ti/N ratio and the quantity and size of microparticles decreased. Meanwhile, the uniform distribution of elements in TiN coatings was observed.
ভাষা:রুশ
প্রকাশিত: 2015
মালা:Физика
বিষয়গুলি:
অনলাইন ব্যবহার করুন:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19170
http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2015/C21/090.pdf
বিন্যাস: বৈদ্যুতিক গ্রন্থের অধ্যায়
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=613001
বিবরন
দৈহিক বর্ননা:1 файл(239 Кб)
সংক্ষিপ্ত:Заглавие с экрана
This paper is devoted to investigation of element distribution and microparticles formation during deposition of titanium nitride coatings by cathodic vacuum arc with pulsed bias voltage. The results revealed that with the increase in bias voltage from -100 to -300 V, Ti/N ratio and the quantity and size of microparticles decreased. Meanwhile, the uniform distribution of elements in TiN coatings was observed.