Распределение примесных ионов в поверхностных слоях диэлектриков, модифицированных ионными пучками; Перспективы развития фундаментальных наук

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Parent link:Перспективы развития фундаментальных наук.— 2015.— [С. 206-208]
Κύριος συγγραφέας: Перминов А. А.
Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт неразрушающего контроля (ИНК) Проблемная научно-исследовательская лаборатория электроники, диэлектриков и полупроводников (ПНИЛ ЭДиП)
Άλλοι συγγραφείς: Чернявский А. В. Александр Викторович (научный руководитель)
Περίληψη:Заглавие с экрана
The results of studies of impurity ions distribution in surface layers of dielectric modified by ion beams are presented. Depth profiles were measured by secondary ion mass spectrometry method. Computer simulations of the expected ion depth profile were carried out using the TRIM program. The alumina ceramic implanted with Ti ions at energy 50 keV and zirconium ceramic implanted with Al ions at energy 78 keV were investigated in our work.
Γλώσσα:Ρωσικά
Έκδοση: 2015
Σειρά:Физика
Θέματα:
Διαθέσιμο Online:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19147
http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2015/C21/058.pdf
Μορφή: Ηλεκτρονική πηγή Κεφάλαιο βιβλίου
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=612960
Περιγραφή
Φυσική περιγραφή:1 файл(577 Кб)
Περίληψη:Заглавие с экрана
The results of studies of impurity ions distribution in surface layers of dielectric modified by ion beams are presented. Depth profiles were measured by secondary ion mass spectrometry method. Computer simulations of the expected ion depth profile were carried out using the TRIM program. The alumina ceramic implanted with Ti ions at energy 50 keV and zirconium ceramic implanted with Al ions at energy 78 keV were investigated in our work.