Magnetron sputtering system; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине

Magnetron sputtering system; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине

Библиографические подробности
Источник:	Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине.— 2015.— [С. 209-210]
Главный автор:	Lazarev A. V.
Корпоративные авторы:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра прикладной физики (№ 12) (ПФ), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра иностранных языков физико-технического института (ИЯФТ)
Другие авторы:	Andreeva M. A., Smirnova U. A. Uliana Aleksandrovna
Примечания:	Заглавие с титульного экрана
Язык:	английский
Опубликовано:	2015
Серии:	Радиационные и пучково-плазменные технологии в науке, технике и медицине
Предметы:	труды учёных ТПУ электронный ресурс магнетронное распыление тонкопленочные покрытия
Online-ссылка:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/17438 http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2015/C49/178.pdf
Формат:	Электронный ресурс Статья
Запись в KOHA:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=612758

Internet

http://earchive.tpu.ru/handle/11683/17438
http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2015/C49/178.pdf