Magnetron sputtering system

Magnetron sputtering system

Bibliografiske detaljer
Parent link:	Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине: сборник тезисов докладов VII Международной научно-практической конференции, г. Томск, 3-6 июня 2015 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. А. Н. Дьяченко [и др.]. [С. 209-210].— , 2015
Hovedforfatter:	Lazarev A. V.
Corporate Authors:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра прикладной физики (№ 12) (ПФ), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра иностранных языков физико-технического института (ИЯФТ)
Andre forfattere:	Andreeva M. A., Smirnova U. A. Uliana Aleksandrovna
Summary:	Заглавие с титульного экрана
Udgivet:	2015
Serier:	Радиационные и пучково-плазменные технологии в науке, технике и медицине
Fag:	труды учёных ТПУ электронный ресурс магнетронное распыление тонкопленочные покрытия
Online adgang:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/17438 http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2015/C49/178.pdf
Format:	Electronisk Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=612758

Internet

http://earchive.tpu.ru/handle/11683/17438
http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2015/C49/178.pdf