|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
612758 |
| 005 |
20240211130615.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\conf\10889
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\conf\10888
|
| 090 |
|
|
|a 612758
|
| 100 |
|
|
|a 20150626d2015 k y0rusy50 ba
|
| 101 |
0 |
|
|a eng
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a y z 101zy
|
| 135 |
|
|
|a drgn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Magnetron sputtering system
|f A. V. Lazarev, M. A. Andreeva, U. A. Smirnova
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 225 |
1 |
|
|a Радиационные и пучково-плазменные технологии в науке, технике и медицине
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с титульного экрана
|
| 320 |
|
|
|a [Библиогр.: с. 210 (2 назв.)]
|
| 337 |
|
|
|a Adobe Reader
|
| 463 |
|
0 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\conf\10637
|t Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине
|o сборник тезисов докладов VII Международной научно-практической конференции, г. Томск, 3-6 июня 2015 г.
|f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. А. Н. Дьяченко [и др.]
|v [С. 209-210]
|d 2015
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронное распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкопленочные покрытия
|
| 700 |
|
1 |
|a Lazarev
|b A. V.
|
| 701 |
|
1 |
|a Andreeva
|b M. A.
|
| 701 |
|
1 |
|a Smirnova
|b U. A.
|c linguist
|c Senior Lecturer of Tomsk Polytechnic University
|f 1975-
|g Uliana Aleksandrovna
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\32621
|9 16533
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|b Физико-технический институт (ФТИ)
|b Кафедра прикладной физики (№ 12) (ПФ)
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\18729
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|b Физико-технический институт (ФТИ)
|b Кафедра иностранных языков физико-технического института (ИЯФТ)
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\18736
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20210210
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/17438
|
| 856 |
4 |
|
|u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2015/C49/178.pdf
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
