Magnetron sputtering system

Magnetron sputtering system

Detalles Bibliográficos
Parent link:Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине: сборник тезисов докладов VII Международной научно-практической конференции, г. Томск, 3-6 июня 2015 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. А. Н. Дьяченко [и др.]. [С. 209-210].— , 2015
Autor Principal: Lazarev A. V.
Corporate Authors: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра прикладной физики (№ 12) (ПФ), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра иностранных языков физико-технического института (ИЯФТ)
Outros autores: Andreeva M. A., Smirnova U. A. Uliana Aleksandrovna
Summary:Заглавие с титульного экрана
Publicado: 2015
Series:Радиационные и пучково-плазменные технологии в науке, технике и медицине
Subjects:
труды учёных ТПУ
электронный ресурс
магнетронное распыление
тонкопленочные покрытия
Acceso en liña:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/17438
http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2015/C49/178.pdf
Formato: Electrónico Capítulo de libro
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=612758
Descripción
Summary:Заглавие с титульного экрана

Títulos similares