Исследование влияния отрицательного смещения подложки на параметры плазмы ВЧ-магнетронного распыления методом двойного зонда Ленгмюра

Исследование влияния отрицательного смещения подложки на параметры плазмы ВЧ-магнетронного распыления методом двойного зонда Ленгмюра

Bibliografiske detaljer
Parent link:	Функциональные материалы: разработка, исследование, применение.— 2014.— [С. 75]
Hovedforfatter:	Мухаметкалиев Т. М. Тимур Мухамедрашидович
Institution som forfatter:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ)
Andre forfattere:	Мельников Е. С. Евгений Сергеевич (727), Сурменев Р. А. Роман Анатольевич
Summary:	Заглавие с титульного экрана
Sprog:	russisk
Udgivet:	2014
Serier:	Материалы для медицины и экологии
Fag:	труды учёных ТПУ электронный ресурс отрицательное смещение подложки плазма ВЧ-распыление магнетронное распыление зонды Ленгмюра
Online adgang:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/70075 http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2014/C96/073.pdf
Format:	Electronisk Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=611610

Lignende værker

Исследование плазмы ВЧ-разряда при распылении ГА мишени с использованием зонда Ленгмюра
af: Мельников Е. С. Евгений Сергеевич
Udgivet: (2014)

Calcium-phosphate coating on AZ91d magnesium alloy prepared via RF magnetron sputtering
af: Мухаметкалиев Т. М. Тимур Мухамедрашидович
Udgivet: (2015)

Кремнийсодержащее кальций-фосфатное покрытие, сформированное методом ВЧ-магнетронного распыления
af: Сурменева М. А. Мария Александровна
Udgivet: (2010)

Влияние процесса распыления на структуру ВЧ-магнетронных тонких пленок
af: Шаронова А. А. Анна Александровна
Udgivet: (2013)

Элементный и фазовый состав кальцийфосфатных мишеней для ВЧ-магнетронного распыления
Udgivet: (2019)

Остеогенный потенциал покрытий на основе гидроксиа-патита, полученных методом ВЧ-магнетронного распыления
af: Грибенников М. В.
Udgivet: (2013)

Влияние материала подложки и режима ВЧ-магнетронного распыления на структуру и свойства покрытий на основе гидроксиапатита
Udgivet: (2015)

Физико-механические характеристики PLLA пленок, модифицированных методом ВЧ-магнетронного распыления
af: Богомолова Н. Н. Наталья Николаевна
Udgivet: (2014)

Электрический потенциал тонкого биоактивного покрытия на основе цинк-замещенного гидроксиапатита, полученного на титане методом ВЧ магнетронного распыления
af: Просолов К. А. Константин Александрович
Udgivet: (2017)

Исследование элементного состава кальций-фосфатных покрытий, нанесённых методом ВЧ-магнетронного распыления
Udgivet: (2008)

Влияние термической обработки на свойства кремнийсодержащих кальцийфосфатных покрытий, сформированных методом ВЧ-магнетронного распыления
af: Грубова И. Ю. Ирина Юрьевна
Udgivet: (2010)

Исследование структуры покрытий, сформированных ВЧ-магнетронным распылением мишени из кремнийзамещённого гидроксиапатита
af: Грубова И. Ю. Ирина Юрьевна
Udgivet: (2009)

Получение кальцийфосфатных биосовместимых покрытий методом магнетронного распыления и их свойства
Udgivet: (2006)

Исследование физико-механических свойств биосовместимых покрытий с антибактериальными свойствами, полученных методом вч-магнетронного распыления
af: Сыромотина Д. С. Дина Сергеевна
Udgivet: (2013)

Исследование физико-механических свойств биосовместимых покрытий на основе серебросодержащего гидроксиапатита, полученных методом ВЧ-магнетронного распыления
af: Сыромотина Д. С.
Udgivet: (2013)

Адгезионная прочность ВЧ-магнетронного кремний-содержащего кальций фосфатного покрытия
af: Иванова Е. С.
Udgivet: (2013)

Исследование параметров плазмы реактивного магнетронного разряда с помощью зонда Ленгмюра
af: Чжилей С.
Udgivet: (2015)

Технология формирования мишени для ВЧ магнетронного распыления из биметаллических частиц CU-W
af: Просолов К. А.
Udgivet: (2022)

Закономерности роста кальций-фосфатных покрытий, осажденных из плазмы ВЧ-магнетронного разряда
af: Иванова А. А. Анна Александровна
Udgivet: (2012)

Кальцийфосфатные мишени для ВЧ магнетронного распыления биопокрытий
Udgivet: (2019)

Управлению наношероховатостью и рост трехмерных структур на поверхности кальцийфосфатного покрытия, полученного методом ВЧ магнетронного распыления
af: Просолов К. А. Константин Александрович
Udgivet: (2017)

Исследование способов управления структурой ВЧ-магнетронных кальцийфосфатных покрытий
Udgivet: (2013)

Особенности формирования структуры ВЧ-магнетронных покрытий на основе серебросодержащего гидроксиапатита
Udgivet: (2013)

Зависимость свойств магнетронных Са-Р покрытий, сформированных из плазмы ВЧ-разряда, от параметров напыления
Udgivet: (2010)

Влияние ВЧ-магнетронного кальций-фосфатного покрытия на выход никеля из подложек NiTi в водные растворы
Udgivet: (2009)

ВЧ-магнетронные кальций-фосфатные покрытия на материалах медицинских имплантатов
Udgivet: (2009)

Thin hydroxyapatite coating on AZ91D magnesium alloy fabricated via RF-magnetron sputtering
af: Melnikov E. S. Evgenii Sergeevich
Udgivet: (2015)

Влияние степени дисперсности частиц корунда на свойства напылённых вч-магнетронных кальций-фосфатных покрытий
Udgivet: (2015)

Структурные особенности роста ВЧ-магнетронных тонких пленок на основе серебросодержащего гидроксиапатита
Udgivet: (2013)

The effect of Si content on structure and mechanical features of silicon-containing calcium phosphorus-based films deposited by rf-magnetron sputtering on titanium substrate treated by pulsed electron beam
Udgivet: (2014)

Технологический комплекс для формирования кальций-фосфатных покрытий ВЧ - магнетронным распылением: элементный состав и морфология полученных пленок
af: Богомолова Н. Н. Наталья Николаевна
Udgivet: (2013)

Investigation of physical and mechanical properties of biocompatible coatings based on silver-hydroxyapatite deposited by radio-frequency magnetron sputtering
af: Syromotina D. S.
Udgivet: (2013)

Анализ физико-механических свойств покрытий, сформированных ВЧ-магнетронным распылением мишени из кремнийзамещённого гидроксиапатита
af: Грубова И. Ю. Ирина Юрьевна
Udgivet: (2012)

Покрытия, сформированные методом ВЧ-магнетронного распыления мишени из кремнийзамещенного гидроксиапатита
af: Сурменева М. А. Мария Александровна
Udgivet: (2009)

Технологические возможности формирования тонкопленочных гетероструктур на основе алмазоподобных и сегнетоэлектрических материалов
Udgivet: (2012)

Antibacterial potential of Zn- and Cu-substituted hydroxyapatite-based coatings deposited by RF-magnetron sputtering
Udgivet: (2019)

Mechanical Behavior of the Titania Nanotubes and Hydroxyapatite Coating Prepared On the Surface of Titanium
Udgivet: (2016)

Определения параметров плазменно-пучкового разряда на имитационном стенде с помощью одиночного зонда Ленгмюра
af: Ролланулы Р. Р.
Udgivet: (2014)

Молекулярный конструктор Ленгмюра-Блоджетт
af: Ковальчук М. В.
Udgivet: (2003)

Свойства покрытий, сформированных реактивным ВЧ распылением гидроксиапатита в смеси азота и инертных газов
af: Букал В. Р. Владислав Романович
Udgivet: (2022)