Исследование влияния отрицательного смещения подложки на параметры плазмы ВЧ-магнетронного распыления методом двойного зонда Ленгмюра

Bibliographic Details
Parent link:	Функциональные материалы: разработка, исследование, применение.— 2014.— [С. 75]
Main Author:	Мухаметкалиев Т. М. Тимур Мухамедрашидович
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ)
Other Authors:	Мельников Е. С. Евгений Сергеевич (727), Сурменев Р. А. Роман Анатольевич
Summary:	Заглавие с титульного экрана
Language:	Russian
Published:	2014
Series:	Материалы для медицины и экологии
Subjects:	труды учёных ТПУ электронный ресурс отрицательное смещение подложки плазма ВЧ-распыление магнетронное распыление зонды Ленгмюра
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/70075 http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2014/C96/073.pdf
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=611610

Internet