|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
611610 |
| 005 |
20240130125735.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\conf\9420
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\conf\9418
|
| 090 |
|
|
|a 611610
|
| 100 |
|
|
|a 20150406d2014 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a y z 101zy
|
| 135 |
|
|
|a drgn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Исследование влияния отрицательного смещения подложки на параметры плазмы ВЧ-магнетронного распыления методом двойного зонда Ленгмюра
|f Т. М. Мухаметкалиев, Е. С. Мельников
|g науч. рук. Р. А. Сурменев
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 225 |
1 |
|
|a Материалы для медицины и экологии
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с титульного экрана
|
| 337 |
|
|
|a Adobe Reader
|
| 463 |
|
0 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\conf\9214
|t Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
|o сборник тезисов докладов II Всероссийского конкурса научных докладов студентов, г.Томск, г.Тамбов, 22-23 мая 2014 г.
|f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ) ; Тамбовский государственный университет имени Г. Р. Державина ; ред. кол. А. Ю. Годымчук ; И. А. Курзина ; А. А. Гусев
|v [С. 75]
|d 2014
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a отрицательное смещение
|
| 610 |
1 |
|
|a подложки
|
| 610 |
1 |
|
|a плазма
|
| 610 |
1 |
|
|a ВЧ-распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронное распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a зонды Ленгмюра
|
| 700 |
|
1 |
|a Мухаметкалиев
|b Т. М.
|c физик
|c инженер-исследователь Томского политехнического университета
|f 1991-
|g Тимур Мухамедрашидович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\32477
|9 16425
|
| 701 |
|
1 |
|a Мельников
|b Е. С.
|c физик
|c лаборант Томского политехнического университета
|f 1992-
|g Евгений Сергеевич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\34111
|9 17651
|
| 702 |
|
1 |
|a Сурменев
|b Р. А.
|c физик
|c старший научный сотрудник Томского политехнического университета, доцент, кандидат физико-математических наук
|f 1982-
|g Роман Анатольевич
|4 727
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|b Физико-технический институт (ФТИ)
|b Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ)
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\18726
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20220315
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/70075
|
| 856 |
4 |
|
|u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2014/C96/073.pdf
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
