Мухаметкалиев Т. М. Тимур Мухамедрашидович, Мельников Е. С. Евгений Сергеевич, & Сурменев Р. А. Роман Анатольевич. (2014). Исследование влияния отрицательного смещения подложки на параметры плазмы ВЧ-магнетронного распыления методом двойного зонда Ленгмюра; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение. 2014.
Chicago Style (17th ed.) CitationМухаметкалиев Т. М. Тимур Мухамедрашидович, Мельников Е. С. Евгений Сергеевич, and Сурменев Р. А. Роман Анатольевич. Исследование влияния отрицательного смещения подложки на параметры плазмы ВЧ-магнетронного распыления методом двойного зонда Ленгмюра; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение. 2014, 2014.
MLA (9th ed.) CitationМухаметкалиев Т. М. Тимур Мухамедрашидович, et al. Исследование влияния отрицательного смещения подложки на параметры плазмы ВЧ-магнетронного распыления методом двойного зонда Ленгмюра; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение. 2014, 2014.