Мухаметкалиев Т. М. Тимур Мухамедрашидович, Мельников Е. С. Евгений Сергеевич, & Сурменев Р. А. Роман Анатольевич. (2014). Исследование влияния отрицательного смещения подложки на параметры плазмы ВЧ-магнетронного распыления методом двойного зонда Ленгмюра. 2014.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Мухаметкалиев Т. М. Тимур Мухамедрашидович, Мельников Е. С. Евгений Сергеевич, und Сурменев Р. А. Роман Анатольевич. Исследование влияния отрицательного смещения подложки на параметры плазмы ВЧ-магнетронного распыления методом двойного зонда Ленгмюра. 2014, 2014.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Мухаметкалиев Т. М. Тимур Мухамедрашидович, et al. Исследование влияния отрицательного смещения подложки на параметры плазмы ВЧ-магнетронного распыления методом двойного зонда Ленгмюра. 2014, 2014.