Исследование плазмы ВЧ-разряда при распылении ГА мишени с использованием зонда Ленгмюра; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение

التفاصيل البيبلوغرافية
Parent link:Функциональные материалы: разработка, исследование, применение.— 2014.— [С. 53]
المؤلف الرئيسي: Мельников Е. С. Евгений Сергеевич
مؤلف مشترك: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ)
مؤلفون آخرون: Мухаметкалиев Т. М. Тимур Мухамедрашидович (научный руководитель), Сурменев Р. А. Роман Анатольевич
الملخص:Заглавие с титульного экрана
اللغة:الروسية
منشور في: 2014
سلاسل:Методы исследования и изготовления функциональных материалов
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/70062
http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2014/C96/051.pdf
التنسيق: الكتروني فصل الكتاب
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=611597