Исследование плазмы ВЧ-разряда при распылении ГА мишени с использованием зонда Ленгмюра; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение

Detalles Bibliográficos
Parent link:	Функциональные материалы: разработка, исследование, применение.— 2014.— [С. 53]
Autor principal:	Мельников Е. С. Евгений Сергеевич
Autor Corporativo:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ)
Otros Autores:	Мухаметкалиев Т. М. Тимур Мухамедрашидович (научный руководитель), Сурменев Р. А. Роман Анатольевич
Sumario:	Заглавие с титульного экрана
Lenguaje:	ruso
Publicado:	2014
Colección:	Методы исследования и изготовления функциональных материалов
Materias:	труды учёных ТПУ электронный ресурс плазма ВЧ-разряды распыление мишени зонды Ленгмюра энергетические характеристики покрытия биосовместимые покрытия пленки
Acceso en línea:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/70062 http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2014/C96/051.pdf
Formato:	Electrónico Capítulo de libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=611597

Internet