Исследование плазмы ВЧ-разряда при распылении ГА мишени с использованием зонда Ленгмюра

Bibliographic Details
Parent link:Функциональные материалы: разработка, исследование, применение: сборник тезисов докладов II Всероссийского конкурса научных докладов студентов, г.Томск, г.Тамбов, 22-23 мая 2014 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ) ; Тамбовский государственный университет имени Г. Р. Державина ; ред. кол. А. Ю. Годымчук ; И. А. Курзина ; А. А. Гусев. [С. 53].— , 2014
Main Author: Мельников Е. С. Евгений Сергеевич
Corporate Author: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ)
Other Authors: Мухаметкалиев Т. М. Тимур Мухамедрашидович (727), Сурменев Р. А. Роман Анатольевич
Summary:Заглавие с титульного экрана
Published: 2014
Series:Методы исследования и изготовления функциональных материалов
Subjects:
Online Access:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/70062
http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2014/C96/051.pdf
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=611597