Calculation of energy release function of focused ion beam in solids

Bibliographic Details
Parent link:Методология проектирования молодежного научно-инновационного пространства как основа подготовки современного инженера.— 2014.— [С. 185-189]
Main Author: Ryabkina X. S.
Corporate Authors: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра водородной энергетики и плазменных технологий (ВЭПТ), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра иностранных языков физико-технического института (ИЯФТ)
Other Authors: Stepanova O. M. Olga Mikhailovna (научный руководитель), Demyanenko N. V. Natalia Vladimirovna
Summary:Заглавие с экрана
The mathematical formulation of space-time energy release function of accelerated ions in solids is presented. Continuous focused ion beam interaction with metals is considered. The power density of deposited energy and specific energy input in a target has been calculated. A beam energy fraction expended on the collisional sputtering of target atoms has been estimated.
Language:English
Published: 2014
Series:Integrity of traditions and innovations as the basis for the development of modern engineering science
Subjects:
Online Access:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/65007
http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2014/C07/041.pdf
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=607973