Покрытия на основе оксинитридов титана, осажденные методом реактивного магнетронного распыления: морфология поверхности и химический состав; Современные техника и технологии; Т. 3

Մատենագիտական մանրամասներ
Parent link:Современные техника и технологии: сборник трудов XX международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, Томск, 14-18 апреля 2014 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2014
Т. 3.— 2014.— [С. 327-328]
Հիմնական հեղինակ: Иванова Н. М.
Համատեղ հեղինակներ: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт неразрушающего контроля (ИНК) Кафедра промышленной и медицинской электроники (ПМЭ), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ)
Այլ հեղինակներ: Арышева Г. В. Галина Владиславовна (научный руководитель), Конищев М. Е. Максим Евгеньевич, Пичугин В. Ф. Владимир Федорович
Ամփոփում:Заглавие с титульного экрана
Լեզու:ռուսերեն
Հրապարակվել է: 2014
Շարք:Наноматериалы, нанотехнологии и новая энергетика
Խորագրեր:
Առցանց հասանելիություն:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/20976
http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2014/C01/V3/156.pdf
Ձևաչափ: Էլեկտրոնային Գրքի գլուխ
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=607351

MARC

LEADER 00000naa2a2200000 4500
001 607351
005 20241125140622.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\conf\4732 
035 |a RU\TPU\conf\4731 
090 |a 607351 
100 |a 20140709d2014 k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a y z 101zy 
135 |a drcn ---uucaa 
181 0 |a i  
182 0 |a b 
200 1 |a Покрытия на основе оксинитридов титана, осажденные методом реактивного магнетронного распыления: морфология поверхности и химический состав  |f Н. М. Иванова, Г. В. Арышева, М. Е. Конищев  |g науч. рук. В. Ф. Пичугин 
203 |a Текст  |c электронный 
225 1 |a Наноматериалы, нанотехнологии и новая энергетика 
300 |a Заглавие с титульного экрана 
320 |a [Библиогр.: с. 328 (5 назв.)] 
337 |a Adobe Reader 
461 1 |0 (RuTPU)RU\TPU\conf\3687  |t Современные техника и технологии  |o сборник трудов XX международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, Томск, 14-18 апреля 2014 г.  |o в 3 т.  |f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)   |d 2014 
463 0 |0 (RuTPU)RU\TPU\conf\3691  |t Т. 3  |v [С. 327-328]  |d 2014 
610 1 |a труды учёных ТПУ 
610 1 |a электронный ресурс 
610 1 |a покрытия 
610 1 |a оксинитриды титана 
610 1 |a магнетронные распылительные системы 
610 1 |a морфология поверхности 
610 1 |a химический состав 
700 1 |a Иванова  |b Н. М. 
701 1 |a Арышева  |b Г. В.  |c специалист в области электроники  |c ассистент Томского политехнического университета, кандидат технических наук  |f 1983-  |g Галина Владиславовна  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\32284  |9 16273 
701 1 |a Конищев  |b М. Е.  |c физик  |c старший преподаватель Томского политехнического университета  |f 1987-  |g Максим Евгеньевич  |y Томск  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\27837  |9 12872 
702 1 |a Пичугин  |b В. Ф.  |c российский физик  |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук  |f 1944-  |g Владимир Федорович  |4 727 
712 0 2 |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)  |b Институт неразрушающего контроля (ИНК)  |b Кафедра промышленной и медицинской электроники (ПМЭ)  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\18719 
712 0 2 |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)  |b Физико-технический институт (ФТИ)  |b Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ)  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\18726 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20210315  |g RCR 
856 4 |u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/20976 
856 4 |u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2014/C01/V3/156.pdf 
942 |c BK