Покрытия на основе оксинитридов титана, осажденные методом реактивного магнетронного распыления: морфология поверхности и химический состав

Покрытия на основе оксинитридов титана, осажденные методом реактивного магнетронного распыления: морфология поверхности и химический состав

Bibliographic Details
Parent link:	Современные техника и технологии: сборник трудов XX международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, Томск, 14-18 апреля 2014 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2014 Т. 3.— 2014.— [С. 327-328]
Main Author:	Иванова Н. М.
Corporate Authors:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт неразрушающего контроля (ИНК) Кафедра промышленной и медицинской электроники (ПМЭ), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ)
Other Authors:	Арышева Г. В. Галина Владиславовна (727), Конищев М. Е. Максим Евгеньевич, Пичугин В. Ф. Владимир Федорович
Summary:	Заглавие с титульного экрана
Published:	2014
Series:	Наноматериалы, нанотехнологии и новая энергетика
Subjects:	труды учёных ТПУ электронный ресурс покрытия оксинитриды титана магнетронные распылительные системы морфология поверхности химический состав
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/20976 http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2014/C01/V3/156.pdf
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=607351

Internet

http://earchive.tpu.ru/handle/11683/20976
http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2014/C01/V3/156.pdf