Структурно-фазовое состояние керамического нанокомпозитного покрытия на основе Si-Al-N; Перспективы развития фундаментальных наук

Структурно-фазовое состояние керамического нанокомпозитного покрытия на основе Si-Al-N; Перспективы развития фундаментальных наук

Détails bibliographiques
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук.— 2014.— [С. 977-979]
Auteur principal:	Пузанова К. С.
Collectivité auteur:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Кафедра физики высоких технологий в машиностроении (ФВТМ)
Autres auteurs:	Божко И. А. Ирина Александровна (научный руководитель), Калашников М. П. Марк Петрович, Сергеев В. П. Виктор Петрович
Résumé:	Заглавие с экрана Structural-phase state of coatings on the basis of Si-Al N formed by magnetron sputtering was investigated by TEM, SEM and X-ray analysis. It was established that the coatings on the basis of Si-Al-N are polyphase. They have a nanocrystalline structure and there is the aluminum nitride, the silicon nitride α-Si3N4 in their compound.
Langue:	russe
Publié:	2014
Collection:	Наноматериалы и нанотехнологии
Sujets:	электронный ресурс труды учёных ТПУ структурно-фазовые состояния керамические покрытия нанокомпозитные покрытия нитрид кремния алюминий магнетронные напыления
Accès en ligne:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2014/C21/330.pdf
Format:	Électronique Chapitre de livre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=607044

Internet

http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2014/C21/330.pdf