Структурно-фазовое состояние керамического нанокомпозитного покрытия на основе Si-Al-N

Bibliographic Details
Parent link:Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of fundamental sciences development: сборник научных трудов XI Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 22-25 апреля 2014 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. Е. А. Вайтулевич. [С. 977-979].— , 2014
Main Author: Пузанова К. С.
Corporate Author: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Кафедра физики высоких технологий в машиностроении (ФВТМ)
Other Authors: Божко И. А. Ирина Александровна (727), Калашников М. П. Марк Петрович, Сергеев В. П. Виктор Петрович
Summary:Заглавие с экрана
Structural-phase state of coatings on the basis of Si-Al N formed by magnetron sputtering was investigated by TEM, SEM and X-ray analysis. It was established that the coatings on the basis of Si-Al-N are polyphase. They have a nanocrystalline structure and there is the aluminum nitride, the silicon nitride α-Si3N4 in their compound.
Published: 2014
Series:Наноматериалы и нанотехнологии
Subjects:
Online Access:http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2014/C21/330.pdf
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=607044