Структурно-фазовое состояние керамического нанокомпозитного покрытия на основе Si-Al-N; Перспективы развития фундаментальных наук

Структурно-фазовое состояние керамического нанокомпозитного покрытия на основе Si-Al-N; Перспективы развития фундаментальных наук

Bibliographic Details
Parent link:Перспективы развития фундаментальных наук.— 2014.— [С. 977-979]
Main Author: Пузанова К. С.
Corporate Author: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Кафедра физики высоких технологий в машиностроении (ФВТМ)
Other Authors: Божко И. А. Ирина Александровна (научный руководитель), Калашников М. П. Марк Петрович, Сергеев В. П. Виктор Петрович
Summary:Заглавие с экрана
Structural-phase state of coatings on the basis of Si-Al N formed by magnetron sputtering was investigated by TEM, SEM and X-ray analysis. It was established that the coatings on the basis of Si-Al-N are polyphase. They have a nanocrystalline structure and there is the aluminum nitride, the silicon nitride α-Si3N4 in their compound.
Language:Russian
Published: 2014
Series:Наноматериалы и нанотехнологии
Subjects:
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
структурно-фазовые состояния
керамические покрытия
нанокомпозитные покрытия
нитрид кремния
алюминий
магнетронные напыления
Online Access:http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2014/C21/330.pdf
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=607044

Internet

http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2014/C21/330.pdf

Similar Items