|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
607044 |
| 005 |
20240117094340.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\conf\4423
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\conf\4401
|
| 090 |
|
|
|a 607044
|
| 100 |
|
|
|a 20140626d2014 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 101zy
|
| 135 |
|
|
|a drcn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Структурно-фазовое состояние керамического нанокомпозитного покрытия на основе Si-Al-N
|d Structural-phase state of ceramic nanocomposite coatings on the basis of Si-Al-N
|f К. С. Пузанова, И. А. Божко, М. П. Калашников
|g науч. рук. В. П. Сергеев
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 215 |
|
|
|a 1 файл(419 Кб)
|
| 225 |
1 |
|
|a Наноматериалы и нанотехнологии
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с экрана
|
| 320 |
|
|
|a [Библиогр.: с. 979 (2 назв.)]
|
| 330 |
|
|
|a Structural-phase state of coatings on the basis of Si-Al N formed by magnetron sputtering was investigated by TEM, SEM and X-ray analysis. It was established that the coatings on the basis of Si-Al-N are polyphase. They have a nanocrystalline structure and there is the aluminum nitride, the silicon nitride α-Si3N4 in their compound.
|
| 337 |
|
|
|a Adobe Reader
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\conf\3586
|t Перспективы развития фундаментальных наук
|l Prospects of fundamental sciences development
|o сборник научных трудов XI Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 22-25 апреля 2014 г.
|f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. Е. А. Вайтулевич
|v [С. 977-979]
|d 2014
|
| 510 |
1 |
|
|a Structural-phase state of ceramic nanocomposite coatings on the basis of Si-Al-N
|z eng
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a структурно-фазовые состояния
|
| 610 |
1 |
|
|a керамические покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a нанокомпозитные покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a нитрид кремния
|
| 610 |
1 |
|
|a алюминий
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронные напыления
|
| 700 |
|
1 |
|a Пузанова
|b К. С.
|
| 701 |
|
1 |
|a Божко
|b И. А.
|c физик
|c доцент Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук
|f 1980-
|g Ирина Александровна
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30662
|9 14943
|
| 701 |
|
1 |
|a Калашников
|b М. П.
|c физик
|c инженер Томского политехнического университета
|g Марк Петрович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\31797
|
| 702 |
|
1 |
|a Сергеев
|b В. П.
|c специалист в области материаловедения
|c доцент Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук
|c зав. лаб. материаловедения покрытий и нанотехнологий Института физики прочности и материаловедения СО РАН
|f 1949-
|g Виктор Петрович
|4 727
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|b Институт физики высоких технологий (ИФВТ)
|b Кафедра физики высоких технологий в машиностроении (ФВТМ)
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\18687
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20101016
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20151029
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2014/C21/330.pdf
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
