Структурно-фазовое состояние керамического нанокомпозитного покрытия на основе Si-Al-N; Перспективы развития фундаментальных наук

Структурно-фазовое состояние керамического нанокомпозитного покрытия на основе Si-Al-N; Перспективы развития фундаментальных наук

Opis bibliograficzny
Parent link:Перспективы развития фундаментальных наук.— 2014.— [С. 977-979]
1. autor: Пузанова К. С.
Korporacja: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Кафедра физики высоких технологий в машиностроении (ФВТМ)
Kolejni autorzy: Божко И. А. Ирина Александровна (научный руководитель), Калашников М. П. Марк Петрович, Сергеев В. П. Виктор Петрович
Streszczenie:Заглавие с экрана
Structural-phase state of coatings on the basis of Si-Al N formed by magnetron sputtering was investigated by TEM, SEM and X-ray analysis. It was established that the coatings on the basis of Si-Al-N are polyphase. They have a nanocrystalline structure and there is the aluminum nitride, the silicon nitride α-Si3N4 in their compound.
Język:rosyjski
Wydane: 2014
Seria:Наноматериалы и нанотехнологии
Hasła przedmiotowe:
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
структурно-фазовые состояния
керамические покрытия
нанокомпозитные покрытия
нитрид кремния
алюминий
магнетронные напыления
Dostęp online:http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2014/C21/330.pdf
Format: Elektroniczne Rozdział
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=607044
Opis
Opis fizyczny:1 файл(419 Кб)
Streszczenie:Заглавие с экрана
Structural-phase state of coatings on the basis of Si-Al N formed by magnetron sputtering was investigated by TEM, SEM and X-ray analysis. It was established that the coatings on the basis of Si-Al-N are polyphase. They have a nanocrystalline structure and there is the aluminum nitride, the silicon nitride α-Si3N4 in their compound.

Podobne zapisy