Исследование влияния парциального давления на спектральный состав и процесс распыления реактивного магнетронного разряда плазмы при распылении мишени титана; Перспективы развития фундаментальных наук

Исследование влияния парциального давления на спектральный состав и процесс распыления реактивного магнетронного разряда плазмы при распылении мишени титана; Перспективы развития фундаментальных наук

Dettagli Bibliografici
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук.— 2014.— [С. 262-264]
Autore principale:	Сунь Чжилэй
Ente Autore:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ)
Altri autori:	Конищев М. Е. Максим Евгеньевич (научный руководитель), Пустовалова А. А. Алла Александровна, Пичугин В. Ф. Владимир Федорович
Riassunto:	Заглавие с экрана This paper presents the study of the spectral composition of the plasma reactive magnetron discharge and the effect of the concentration of the working gas on the sputtering process. Control of the thin film synthesis was carried out using plasma emission spectrometer AvaSpec 3648. Line identification of optical spectra was realized using NIST database.
Lingua:	russo
Pubblicazione:	2014
Serie:	Физика
Soggetti:	электронный ресурс труды учёных ТПУ парциальное давление спектральный состав распыление магнетронные разряды плазма мишени титан
Accesso online:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2014/C21/083.pdf
Natura:	Elettronico Capitolo di libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=606890

Documenti analoghi

Исследование характеристик плазмы ВЧ-магнетронного разряда при распылении мишени на основе гидроксиапатита; Перспективы развития фундаментальных наук
di: Мельников Е. С. Евгений Сергеевич
Pubblicazione: (2014)

Распыление мишени при ассистировании магнетронного разряда ионным пучком; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 307, № 7
di: Жуков В. В. Владислав Вячеславович
Pubblicazione: (2004)

Влияние типа мишени магнетронного диода на оптические свойства плёнок кремния; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
di: Бельгебаева Д. Е.
Pubblicazione: (2019)

Модернизация установок гидроочистки целью повышения парциального давления водорода; Нефтегазовые технологии; № 5
di: Тернер Д.
Pubblicazione: (2004)

Свойства магнетронного разряда на постоянном токе; Ч. 1; Механизм распыления мишени; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 308, № 6
Pubblicazione: (2005)

Микротекстура поверхности покрытий оксинитридов титана, осажденных методов реактивного магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 3
di: Мазурик Е. А.
Pubblicazione: (2014)

Исследование параметров плазмы реактивного магнетронного разряда с помощью зонда Ленгмюра; Перспективы развития фундаментальных наук
di: Чжилей С.
Pubblicazione: (2015)

Покрытия на основе оксинитридов титана, осажденные методом реактивного магнетронного распыления: морфология поверхности и химический состав; Современные техника и технологии; Т. 3
di: Иванова Н. М.
Pubblicazione: (2014)

Исследование плазмы реактивного магнетронного разряда в трехкомпонентной газовой среде зондовым методом; Приборы и техника эксперимента; № 6
Pubblicazione: (2016)

Анализ микроструктуры пленок на основе оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
di: Сунь Чжилэй
Pubblicazione: (2017)

Математическое моделирование процесса парциального окисления метана до CO2-углеводоровод; Газификация - 2002
Pubblicazione: (2002)

Микроструктура покрытия на основе алюминидов никеля, полученного методом магнетронного напыления сборных мишеней; Современные технологии и материалы новых поколений
di: Гирш А. В.
Pubblicazione: (2017)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
di: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Pubblicazione: (Томск, 2018)

Исследование биосовместимых покрытий на основе оксинитридов титана, полученных методом реактивного магнетронного напыления; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
di: Иванова Н. М. Нина Михаиловна
Pubblicazione: (2014)

Исследование плазмы ВЧ-разряда при распылении ГА мишени с использованием зонда Ленгмюра; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
di: Мельников Е. С. Евгений Сергеевич
Pubblicazione: (2014)

Нанесение электрохромных покрытий методом магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
di: Шпакова Н. Ю.
Pubblicazione: (2011)

Кальцийфосфатные мишени для ВЧ магнетронного распыления биопокрытий; Иерархические материалы: разработка и приложения для новых технологий и надежных конструкций
Pubblicazione: (2019)

Магнетронная распылительная система на жидкофазных и твёрдых мишенях в сочетании с внешним пучком ускоренных ионов; Современные техника и технологии; Т. 3
di: Жукова М. А.
Pubblicazione: (2007)

Модифицирование PLLA скаффолдов методом DC магнетронного распыления титановой мишени в смеси рабочих газов; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
di: Марьин П. В. Павел Владимирович
Pubblicazione: (2021)

Осаждение хромовых покрытий с помощью магнетронного распыления «горячей» мишени с ассистированием внешним плазменным источником; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
di: Бондарь А. А. Альберт Алексеевич
Pubblicazione: (2022)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
di: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Pubblicazione: (Томск, 2018)

Исследование особенностей режима самораспыления при работе магнетронных распылительных систем с испаряющимися металлическими мишенями; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине. Российский и международный опыт подготовки кадров
Pubblicazione: (2020)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
di: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Pubblicazione: (Томск, [Б. и.], 2018)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
di: Рогожников Д. С.
Pubblicazione: (2016)

Antibacterial PLGA and PCL membranes, modified by magnetron sputtering method of copper target; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 1093 : Advanced Materials for Engineering and Functional Purposes (AMEFP 2020)
di: Badaraev A. D. Arsalan Dorzhievich
Pubblicazione: (2021)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
di: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Pubblicazione: (Томск, [Б. и.], 2018)

Оптические характеристики плазмы магнетронного разряда в условиях осаждения оксидов и оксинитридов титана; Современные техника и технологии; Т. 3
di: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Pubblicazione: (2010)

Кн. 1: Введение в физику и технику магнетронного распыления; Магнетронные распылительные системы
Pubblicazione: (2008)

Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Pubblicazione: (2019)

Aluminum films deposition by magnetron sputtering systems: Influence of target state and pulsing unit; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 741 : Optoelectronics, Photonics, Engineering and Nanostructures (Saint Petersburg OPEN 2016)
Pubblicazione: (2016)

Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью; Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения
Pubblicazione: (2018)

Никель-содержащие системы в реакции парциального окисления углеводородов; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 325, № 3 : Химия и химические технологии
Pubblicazione: (2014)

Свойства тонких пленок сульфидов вольфрама и меди, полученных методом магнетронного распыления; Материаловедение; № 9
di: Ан В. В. Владимир Вилорьевич
Pubblicazione: (2016)

Исследование пространственного распределения электрического потенциала в задаче построения феноменологической модели магнетронного разряда; Электроэнергетика, электротехнические системы и комплексы
Pubblicazione: (2003)

Определение равномерности толщины никелевых покрытий, нанесенных на циркониевые сплавы методом магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
di: Цяо Цзинвэнь
Pubblicazione: (2017)

Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий; Современные технологии, экономика и образование
di: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Pubblicazione: (2020)

Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства: диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
di: Сунь Чжилэй
Pubblicazione: (Томск, 2020)

Промотированные фосфором нанесенные серебряные катализаторы синтеза глиоксаля; Нефтехимия; Т. 43, № 6
Pubblicazione: (2003)

Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
di: Сунь Чжилэй
Pubblicazione: (Томск, 2020)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
di: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Pubblicazione: (Томск, 2017)