Исследование влияния парциального давления на спектральный состав и процесс распыления реактивного магнетронного разряда плазмы при распылении мишени титана; Перспективы развития фундаментальных наук

Исследование влияния парциального давления на спектральный состав и процесс распыления реактивного магнетронного разряда плазмы при распылении мишени титана; Перспективы развития фундаментальных наук

Dades bibliogràfiques
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук.— 2014.— [С. 262-264]
Autor principal:	Сунь Чжилэй
Autor corporatiu:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ)
Altres autors:	Конищев М. Е. Максим Евгеньевич (научный руководитель), Пустовалова А. А. Алла Александровна, Пичугин В. Ф. Владимир Федорович
Sumari:	Заглавие с экрана This paper presents the study of the spectral composition of the plasma reactive magnetron discharge and the effect of the concentration of the working gas on the sputtering process. Control of the thin film synthesis was carried out using plasma emission spectrometer AvaSpec 3648. Line identification of optical spectra was realized using NIST database.
Idioma:	rus
Publicat:	2014
Col·lecció:	Физика
Matèries:	электронный ресурс труды учёных ТПУ парциальное давление спектральный состав распыление магнетронные разряды плазма мишени титан
Accés en línia:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2014/C21/083.pdf
Format:	Electrònic Capítol de llibre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=606890

Ítems similars

Исследование характеристик плазмы ВЧ-магнетронного разряда при распылении мишени на основе гидроксиапатита; Перспективы развития фундаментальных наук
per: Мельников Е. С. Евгений Сергеевич
Publicat: (2014)

Распыление мишени при ассистировании магнетронного разряда ионным пучком; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 307, № 7
per: Жуков В. В. Владислав Вячеславович
Publicat: (2004)

Кальцийфосфатные мишени для ВЧ магнетронного распыления биопокрытий; Иерархические материалы: разработка и приложения для новых технологий и надежных конструкций
Publicat: (2019)

Влияние типа мишени магнетронного диода на оптические свойства плёнок кремния; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
per: Бельгебаева Д. Е.
Publicat: (2019)

Исследование плазмы ВЧ-разряда при распылении ГА мишени с использованием зонда Ленгмюра; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
per: Мельников Е. С. Евгений Сергеевич
Publicat: (2014)

Магнетронная распылительная система на жидкофазных и твёрдых мишенях в сочетании с внешним пучком ускоренных ионов; Современные техника и технологии; Т. 3
per: Жукова М. А.
Publicat: (2007)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
per: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Publicat: (Томск, 2018)

Модифицирование PLLA скаффолдов методом DC магнетронного распыления титановой мишени в смеси рабочих газов; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
per: Марьин П. В. Павел Владимирович
Publicat: (2021)

Осаждение хромовых покрытий с помощью магнетронного распыления «горячей» мишени с ассистированием внешним плазменным источником; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
per: Бондарь А. А. Альберт Алексеевич
Publicat: (2022)

Кн. 1: Введение в физику и технику магнетронного распыления; Магнетронные распылительные системы
Publicat: (2008)

Свойства магнетронного разряда на постоянном токе; Ч. 1; Механизм распыления мишени; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 308, № 6
Publicat: (2005)

Модернизация установок гидроочистки целью повышения парциального давления водорода; Нефтегазовые технологии; № 5
per: Тернер Д.
Publicat: (2004)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
per: Рогожников Д. С.
Publicat: (2016)

Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Publicat: (2019)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
per: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Publicat: (Томск, 2018)

Свойства тонких пленок сульфидов вольфрама и меди, полученных методом магнетронного распыления; Материаловедение; № 9
per: Ан В. В. Владимир Вилорьевич
Publicat: (2016)

Микротекстура поверхности покрытий оксинитридов титана, осажденных методов реактивного магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 3
per: Мазурик Е. А.
Publicat: (2014)

Элементный и фазовый состав кальцийфосфатных мишеней для ВЧ-магнетронного распыления; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине (ФТПНПМ-2019)
Publicat: (2019)

Оптические характеристики плазмы магнетронного разряда в условиях осаждения оксидов и оксинитридов титана; Современные техника и технологии; Т. 3
per: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Publicat: (2010)

Исследование параметров плазмы реактивного магнетронного разряда с помощью зонда Ленгмюра; Перспективы развития фундаментальных наук
per: Чжилей С.
Publicat: (2015)

Морфология поверхности покрытий оксидов и/или оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
per: Арышева Г. В. Галина Владиславовна
Publicat: (2014)

Морфология поверхности покрытий на основе оксидов и оксинитридов титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
per: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Publicat: (2012)

Исследование плазмы реактивного магнетронного разряда в трехкомпонентной газовой среде зондовым методом; Приборы и техника эксперимента; № 6
Publicat: (2016)

Покрытия на основе оксинитридов титана, осажденные методом реактивного магнетронного распыления: морфология поверхности и химический состав; Современные техника и технологии; Т. 3
per: Иванова Н. М.
Publicat: (2014)

Микроструктура покрытия на основе алюминидов никеля, полученного методом магнетронного напыления сборных мишеней; Современные технологии и материалы новых поколений
per: Гирш А. В.
Publicat: (2017)

Влияние плотности мощности магнетронного диода на скорость осаждения и фазовый состав CrNX покрытий; Современные проблемы машиностроения
per: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Publicat: (2021)

Оптимизация требований к порошкам цинкзамещенного гидроксиапатита с целью обеспечения фазового состава мишеней для ВЧ магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
per: Болат-оол А. А.
Publicat: (2019)

Сильноточное магнетронное распыление Al мишени; Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения
per: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Publicat: (2018)

Исследование адгезионных свойств кремнийсодержащего кальций-фосфатного покрытия, осажденного методом ВЧ-магнетронного распыления на нагретую подложку; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 10
Publicat: (2013)

Растворение in vitro, структурные и электрокинетические характеристики оксинитридных покрытий титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 3
Publicat: (2016)

Математическое моделирование процесса парциального окисления метана до CO2-углеводоровод; Газификация - 2002
Publicat: (2002)

Влияние магнетронного со-распыления титановой и медной мишеней на элементный состав поверхности скаффолдов из поликапролактона; Химия и химическая технология в XXI веке; Т. 2
per: Бадараев А. Д. Арсалан Доржиевич
Publicat: (2021)

Анализ микроструктуры пленок на основе оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
per: Сунь Чжилэй
Publicat: (2017)

Структура и свойства покрытий системы Hf-Al-C, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Современные материалы и технологии новых поколений
per: Зелецов Д.
Publicat: (2019)

Свойства тонких покрытий оксида титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и перспектива их применения в медицине; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
per: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Publicat: (2009)

Сравнительный анализ производительности и энергоэффективности получения металлических покрытий с использованием мощных импульсных ионных пучков и плазмы магнетронного разряда; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 11 (2)
per: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Publicat: (2012)

Влияние ИМПА магнетронного диода свойства никелевых пленок; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
per: Целовальникова А. Е.
Publicat: (2019)

Тепловые процессы и эмиссия атомов с поверхности жидкофазной мишени магнетронной распылительной системы; Известия вузов. Физика; Т. 58, № 4
per: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Publicat: (2015)

Нанесение электрохромных покрытий методом магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
per: Шпакова Н. Ю.
Publicat: (2011)

Обнаружение NO в биосовместимых оксинитридных покрытиях титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Химия и химическая технология в XXI веке; Т. 1
per: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Publicat: (2015)