Сунь Чжилэй, Конищев М. Е. Максим Евгеньевич, Пустовалова А. А. Алла Александровна, & Пичугин В. Ф. Владимир Федорович. (2014). Исследование влияния парциального давления на спектральный состав и процесс распыления реактивного магнетронного разряда плазмы при распылении мишени титана; Перспективы развития фундаментальных наук. 2014.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Сунь Чжилэй, Конищев М. Е. Максим Евгеньевич, Пустовалова А. А. Алла Александровна, und Пичугин В. Ф. Владимир Федорович. Исследование влияния парциального давления на спектральный состав и процесс распыления реактивного магнетронного разряда плазмы при распылении мишени титана; Перспективы развития фундаментальных наук. 2014, 2014.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Сунь Чжилэй, et al. Исследование влияния парциального давления на спектральный состав и процесс распыления реактивного магнетронного разряда плазмы при распылении мишени титана; Перспективы развития фундаментальных наук. 2014, 2014.