Сунь Чжилэй, Конищев М. Е. Максим Евгеньевич, Пустовалова А. А. Алла Александровна, & Пичугин В. Ф. Владимир Федорович. (2014). Исследование влияния парциального давления на спектральный состав и процесс распыления реактивного магнетронного разряда плазмы при распылении мишени титана; Перспективы развития фундаментальных наук. 2014.
Chicago (17e ed.) BronvermeldingСунь Чжилэй, Конищев М. Е. Максим Евгеньевич, Пустовалова А. А. Алла Александровна, en Пичугин В. Ф. Владимир Федорович. Исследование влияния парциального давления на спектральный состав и процесс распыления реактивного магнетронного разряда плазмы при распылении мишени титана; Перспективы развития фундаментальных наук. 2014, 2014.
MLA (9e ed.) BronvermeldingСунь Чжилэй, et al. Исследование влияния парциального давления на спектральный состав и процесс распыления реактивного магнетронного разряда плазмы при распылении мишени титана; Перспективы развития фундаментальных наук. 2014, 2014.